[实用新型]气液分离装置

说明书

本实用新型公开了气液分离装置，包括导流槽和气动封堵组件，所述导流槽的顶部通过数个锁紧件固定有密封板，所述密封板的顶部一侧剖设有一抽气口，所述导流槽的一侧部剖设有一废液进口，所述导流槽的底部剖设有数个用于连接分流排放管路的分流口，所述气动封堵组件包括数个驱动气缸和数个活动连杆，所述数个驱动气缸并排设置在密封板上，每个所述驱动气缸的伸缩轴均对应穿过密封板于导流槽的内部连接一活动连杆，且每个所述活动连杆的底部均安装有一用于堵住分流口的密封堵头，本实用新型能实现将蚀刻后的多种废液进行快速排放，相较于现有技术中的气液分离装置，实用性大大增强。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及气液分离装置。

背景技术

化学刻蚀液广泛运用半导体行业，且在刻蚀液使用结束后的废液需要进行归类排放，传统的多种化学品刻蚀液快速排放皆需大管径,需要占用设备的内部空间,所以为了解决上述不足有必要提供一种具有简单结构的废液排放装置(气液分离装置)。

实用新型内容

实用新型目的：为了解决背景技术中存在的不足，所以本实用新型公开了气液分离装置。

技术方案：气液分离装置，包括导流槽和气动封堵组件，所述导流槽的顶部通过数个锁紧件固定有密封板，所述密封板的顶部一侧剖设有一抽气口，所述导流槽的一侧部剖设有一废液进口，所述导流槽的底部剖设有数个用于连接分流排放管路的分流口，所述气动封堵组件包括数个驱动气缸和数个活动连杆，所述数个驱动气缸并排设置在密封板上，每个所述驱动气缸的伸缩轴均对应穿过密封板于导流槽的内部连接一活动连杆，且每个所述活动连杆的底部均安装有一用于堵住分流口的密封堵头。

进一步的是，所述导流槽的内部一侧下方成型为斜坡面。

进一步的是，每个所述锁紧件均采用锁紧螺柱。

进一步的是，还包括防护外罩，且所述防护外罩固设在密封板的上方。

进一步的是，每个所述密封堵头的位置均对应与一分流口相对应。

进一步的是，所述密封堵头具体采用氟橡胶堵头。

本实用新型实现以下有益效果：

本实用新型能实现将蚀刻后的多种废液进行快速排放，相较于现有技术中的气液分离装置，实用性大大增强。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。

图1为本实用新型公开的立体结构示意图。

图2为本实用新型公开的平面结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

实施例

参考图1-2，气液分离装置，包括导流槽10和气动封堵组件，所述导流槽的顶部通过数个锁紧件80固定有密封板20，所述密封板的顶部一侧剖设有一抽气口30，用于连接抽气设备(本实用新型未示出)，所述导流槽的一侧部剖设有一废液进口40，所述导流槽的底部剖设有数个用于连接分流排放管路60的分流口50，所述气动封堵组件包括数个驱动气缸70和数个活动连杆100，所述数个驱动气缸并排设置在密封板上，每个所述驱动气缸的伸缩轴均对应穿过密封板于导流槽的内部连接一活动连杆，且每个所述活动连杆的底部均安装有一用于堵住分流口的密封堵头110，在具体使用时，每个密封堵头下方对应的分流口所连接的分流排放管路均连接一废液回收箱(本实用新型未示出)。

在本实施例中，所述导流槽的内部一侧下方成型为斜坡面120，这样便于较佳的实现对废液进行导流。