[实用新型]一种单晶炉真空管道内壁自动清理装置

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉真空管道内壁自动清理装置，包括固定于有密封圈的真空管道(3)内部的驱动电机、第一端与所述驱动电机的输出轴连接的伸缩机构(2)、与所述伸缩机构(2)的第二端连接的清理刷(1)，所述驱动电机能够驱动所述伸缩机构(2)旋转，所述伸缩机构(2)的长度能够沿真空管道(3)轴线方向伸缩，所述清理刷(1)旋转时能够与真空管道(3)的内壁360°接触。应用本实用新型实施例所提供的技术方案，通过单晶炉真空管道内壁自动清理装置将黏着在真空管道内壁的杂质清理下来，并不损坏真空管道内壁，保证真空状态，提高硅棒的质量，不影响真空管道抽真空。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉管道清理技术领域，特别是涉及一种单晶炉真空管道内壁自动清理装置。

背景技术

单晶炉拉晶时需要保持炉内真空，若未保证真空状态会直接影响硅棒的质量。所有单晶炉通过真空管道连接炉底与真空泵，通过真空泵抽真空保证炉内保持真空状态。

真空管道与底腔连接处通过密封圈来保证密封性，在有密封圈的真空管道处，但是单晶炉工作时底腔温度过高会导致密封圈损坏。为了保证密封圈的密封作用，必须要降低此处的温度，即在真空管道处通水冷却。

具体为，将有密封圈的真空管道下端设计为双层，通过在两侧通水来实现冷却，单晶炉在工作时炉内温度很高，因硅料熔化而产生的氧化物在经过此处时，因温度的降低而直接凝固黏附在真空管道的内部，长期氧化物的附着就会导致真空管道堵塞，从而影响炉内的压力，使得单晶炉内压力升高，影响拉晶。

综上所述，如何有效地将附着在真空管道内壁的物质清理干净，防止其堵塞等问题，是目前本领域技术人员急需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种单晶炉真空管道内壁自动清理装置，该单晶炉真空管道内壁自动清理装置能将黏着在真空管道内壁的杂质清理下来，并保证不损坏管道内壁。

为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：

一种单晶炉真空管道内壁自动清理装置，包括固定于有密封圈的真空管道内部的驱动电机、第一端与所述驱动电机的输出轴连接的伸缩机构、与所述伸缩机构的第二端连接的清理刷，所述驱动电机能够驱动所述伸缩机构旋转，所述伸缩机构的长度能够沿真空管道轴线方向伸缩，所述清理刷旋转时能够与真空管道的内壁360°接触。

优选地，还包括与所述驱动电机和所述伸缩机构电连接的控制器。

优选地，所述驱动电机和所述伸缩机构上均连接有电磁阀，所述控制器与电磁阀连接。

优选地，所述伸缩机构为千斤顶。

优选地，所述千斤顶的伸缩距离固定。

优选地，所述清理刷设置于所述真空管道的中心位置。

优选地，所述清理刷的长度大于管道清理长度。

优选地，所述清理刷为软毛刷。

本实用新型所提供的单晶炉真空管道内壁自动清理装置，包括驱动电机、伸缩机构、清理刷，驱动电机固定于有密封圈的真空管道内部，驱动电机提供动力，伸缩机构的第一端与驱动电机的输出轴连接，具体可以通过联轴器连接，驱动电机能够驱动伸缩机构旋转。

清理刷与伸缩机构的第二端连接，伸缩机构的长度能够沿真空管道轴线方向伸缩，当需要清理真空管道内壁时，伸缩机构驱动清理刷伸出，伸到待清理位置。之后，驱动电机驱动伸缩机构旋转，清理刷跟随伸缩机构旋转。清理刷旋转时能够与真空管道的内壁360°接触，在清理刷与真空管道的内壁接触的过程中，将黏着在真空管道内壁的杂质清理下来。