[实用新型]一种晶圆表面瑕疵检测系统

说明书

本实用新型公开了一种晶圆表面瑕疵检测系统，包括底座，机架，X轴滑台，Y轴滑台，履带，载物台，光谱共焦传感器，Z轴滑台，显微镜系统，控制电路；所述显微镜系统包括物镜，显微镜本体；所述显微镜系统固定于第三滑块；所述物镜固定于第三滑块的固定块且正对晶圆上方；所述光谱共焦传感器固定于第三滑块的固定块且正对晶圆上方；所述光谱共焦传感器位于物镜正前方。由于本实用新型采用光谱共焦传感器高速高精度实时测距，测距时间短；显微镜系统通过光谱共焦传感器和控制电路的配合实现自动高速高精度对焦，可以保证实时图像的清晰度，实现晶圆表面瑕疵的准确判定。

技术领域

本实用新型涉及晶圆检测领域，特别是涉及一种晶圆表面瑕疵检测系统。

背景技术

随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆特征尺寸的减小，使得晶圆表面瑕疵检测变得尤为重要。

现有的晶圆表面瑕疵检测系统无法根据晶圆的形貌特征实时调整显微镜物镜与晶圆的距离，对焦精度低，无法确保图像的清晰度和提前对焦，因此无法实现晶圆表面瑕疵快速准确的判定。

鉴于此，本实用新型为此研制出一种晶圆表面瑕疵检测系统。

实用新型内容

本实用新型提供的一种可以实现实时测距，高速高精度对焦，图像的清晰的晶圆表面瑕疵检测系统。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

本实用新型是一种晶圆表面瑕疵检测系统，包括底座，机架，X轴滑台，Y轴滑台，履带，载物台，光谱共焦传感器，Z轴滑台，显微镜系统，控制电路；所述机架固定于底座上方；

所述控制电路包括微处理器，光谱共焦传感器、第一光栅尺、第二光栅尺的反馈信号；微处理器根据反馈信号控制第一直线电机、第二直线电机、非接触式直线电机、显微镜系统实现位移的精密控制。

所述X轴滑台包括大理石X轴承托,第一直线电机,第一光栅尺,四个第一限位缓冲器,两条互相平行的工字型第一滑轨,四个第一滑块；所述X轴承托固定于底座上表面；所述第一直线电机的定子、第一光栅尺、第一滑轨三者互相平行且固定于X轴承托上表面；所述第一直线电机的动子(图中未标示)与Y轴承托连接；所述第一限位缓冲器固定于X轴承托上表面；两个第一滑块与一条第一滑轨配合使用。

所述Y轴滑台包括大理石Y轴承托,第二直线电机,第二光栅尺,两个第二限位缓冲器,两条互相平行的工字型第二滑轨,四个第二滑块；所述Y轴承托与X轴承托通过第一滑轨、第一滑块连接构成沿X轴方向的滑动配合；所述第二直线电机的定子、第二光栅尺、第二滑轨三者互相平行且固定于Y轴承托上表面；所述第二限位缓冲器固定于Y轴承托上表面；两个第二滑块与一条第二滑轨配合使用。

所述履带用于控制电路的布线，包括第一履带，第二履带；所述第一履带的两端分别与底座和Y轴承托固定连接；所述第二履带的两端分别与Y轴承托和载物承托固定连接。

所述载物台包括载物承托，晶圆托盘；所述载物承托与Y轴承托通过第二滑轨、第二滑块连接构成沿Y轴方向的滑动配合；所述晶圆托盘开设有U形凹槽方便晶圆的取放。

所述Z轴滑台包括非接触式直线电机，两个定子固定块，两个第三滑轨,第三滑块；所述两个定子固定块分别固定于机架；所述非接触式直线电机位于两个第三滑轨中间且该电机的定子两端分别固定于两个定子固定块；所述第三滑块与机架通过两个第三滑轨连接构成沿Z轴方向的滑动配合。

所述显微镜系统包括物镜，显微镜本体；所述显微镜系统固定于第三滑块；所述物镜固定于第三滑块的固定块且正对晶圆上方。

所述光谱共焦传感器固定于第三滑块的固定块且正对晶圆上方；所述光谱共焦传感器位于物镜正前方。