[实用新型]一种高浓度低吸附气体配气装置

权利要求书

1.一种高浓度低吸附气体配气装置，包括混合室(1)，其特征在于：所述混合室(1)的一侧设置有调节机构(6)，所述混合室(1)的另一侧设置有防锈三通接口(10)，所述防锈三通接口(10)的一侧设置有流量控制器(2)，所述流量控制器(2)的一侧设置有控制阀(3)，所述控制阀(3)的一侧设置有稀释汽罐(4)和原料汽罐(5)，所述稀释汽罐(4)位于原料汽罐(5)下端外表面，所述调节机构(6)的下端外表面设置有泄压机构(7)，所述泄压机构(7)的下端外表面设置有蓄电池(8)，所述蓄电池(8)的前端外表面设置有电源接口(9)，所述流量控制器(2)包括控制器本体(201)、显示器(202)和一号连接口(203)，所述防锈三通接口(10)包括三通本体(101)、防锈镀层(102)和二号连接口(103)。

2.根据权利要求1所述的一种高浓度低吸附气体配气装置，其特征在于：所述显示器(202)位于控制器本体(201)的前端外表面，所述一号连接口(203)位于控制器本体(201)的两侧。

3.根据权利要求2所述的一种高浓度低吸附气体配气装置，其特征在于：所述显示器(202)与控制器本体(201)之间设置有螺丝，所述显示器(202)通过螺丝与控制器本体(201)的前端外表面固定连接，所述一号连接口(203)与控制器本体(201)之间设置有螺纹接口，所述一号连接口(203)通过螺纹接口与控制器本体(201)的两侧固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种高浓度低吸附气体配气装置，其特征在于：所述防锈镀层(102)位于三通本体(101)的上下两端，所述二号连接口(103)位于三通本体(101)的四周外表面。

5.根据权利要求4所述的一种高浓度低吸附气体配气装置，其特征在于：所述防锈镀层(102)与三通本体(101)之间采用电镀工艺，所述防锈镀层(102)通过电镀工艺与三通本体(101)的上下两端固定连接，所述二号连接口(103)与三通本体(101)之间采用焊接工艺，所述二号连接口(103)通过焊接工艺与三通本体(101)的四周外表面固定连接。