[实用新型]一种卡匣基板感应装置

说明书

本实用新型公开了一种卡匣基板感应装置，包括：卡匣本体和基板支架；所述卡匣本体内分为多层，且每层均设置有所述基板支架，所述基板支架用于放置基板；所述卡匣本体侧壁上设置有第一负压管路；所述基板支架上设置有第二负压管路、感应吸盘和感应元件，所述第二负压管路一端与所述第一负压管路相导通设置，且所述第二负压管路的另一端连通所述感应吸盘，所述感应元件置于所述基板支架上，且所述感应元件位于所述感应吸盘一侧。通过所述感应吸盘和感应元件的设置，防止出现误感应的状况，增加了基板感应的准确度，同时提高了制程的精度；通过所述感应吸盘的吸附效果，避免基板滑动造成基板边缘的撞伤，同时避免因长期放置导致的基板下坠量变大。

技术领域

本实用新型涉及卡匣基板领域，尤其涉及一种卡匣基板感应装置。

背景技术

现有的载出载入移载机，在两个卡匣内的基板帐料信息确认主要是通过一根转杆上的非接触式感应元件进行感应确认，一层基板对应一个感应元件，通过转杆的左右90°转动，可分别感应两个基板帐料信息，请参阅图1至图2。基本帐料信息确认完成后，移载机就会与上游设备联机进行基板的接收传送。

非接触式感应元件本身无法对感应元件的好坏进行识别，如果感应元件出现损坏，转杆上的非接触式感应元件进行基板感应的时候，有料的层数就会被误感应成无料，或者无料层可能会被感应无料，一旦上游进行联机流片，就会出现因机器重复上料导致的撞片现象。

实用新型内容

为此，需要提供一种卡匣基板感应装置，防止出现误感应的状况。

为实现上述目的，本申请提供了一种卡匣基板感应装置，包括：卡匣本体和基板支架；

所述基板支架与所述卡匣本体的内侧壁连接，所述卡匣本体内分为多层，且每层均设置有所述基板支架，所述基板支架用于放置基板；

所述卡匣本体侧壁上设置有第一负压管路；所述基板支架上设置有第二负压管路、感应吸盘和感应元件，所述第二负压管路一端与所述第一负压管路相导通设置，且所述第二负压管路的另一端连通所述感应吸盘，所述感应元件置于所述基板支架上，且所述感应元件位于所述感应吸盘一侧。

进一步地，还包括：真空泵，所述第一负压管路远离所述第二负压管路的一端连接所述真空泵。

进一步地，所述感应元件为光敏感应元件。

进一步地，在每层中所述基板支架为多个，多个所述基板支架分为两组，且分别置于所述卡匣本体内部两侧，且多个所述基板支架的上表面处于同一水平面上，用于放置基板。

进一步地，还包括：控制单元；所述控制单元与所述感应吸盘和感应元件电连接。

进一步地，还包括警报装置，所述警报装置与所述一种卡匣基板感应装置电连接，用于发出声、光和/或电警报。

进一步地，所述感应吸盘的上表面高于所述基板支架的上表面。

区别于现有技术，上述技术方案通过所述感应吸盘和感应元件的设置，防止出现误感应的状况，增加了基板感应的准确度，同时提高了制程的精度；通过所述感应吸盘的吸附效果，避免基板滑动造成基板边缘的撞伤，同时避免因长期放置导致的基板下坠量变大。

附图说明

图1为背景技术卡匣主视图；

图2为背景技术卡匣俯视图；

图3为一种卡匣基板感应装置结构图。

附图标记说明：

1、卡匣本体；2、基板支架；3、第一负压管路；4、第二负压管路；5、感应吸盘；6、感应元件；7、基板。

具体实施方式

为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。