[实用新型]单晶炉坩埚吊装工具有效

专利信息
申请号: 202120077260.4 申请日: 2021-01-12
公开(公告)号: CN214456187U 公开(公告)日: 2021-10-22
发明(设计)人: 夏秋良;刘坤 申请(专利权)人: 新美光(苏州)半导体科技有限公司
主分类号: B66C1/22 分类号: B66C1/22
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 张伟
地址: 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 单晶炉 坩埚 吊装 工具
【权利要求书】:

1.一种单晶炉坩埚吊装工具,其特征在于,包括:基座(100)和安装于所述基座(100)的多个吊杆件(200);

所述吊杆件(200)远离所述基座(100)的一端设有支撑部;

多个所述吊杆件(200)之间围成用于容纳坩埚(10)的空间,所述支撑部能够相对所述基座(100)转动,以使多个所述支撑部转动至坩埚(10)的底面,并支撑所述坩埚(10)的底面。

2.根据权利要求1所述的单晶炉坩埚吊装工具,其特征在于,所述吊杆件(200)包括竖杆(210);

所述支撑部包括支撑板(220),所述支撑板(220)与所述竖杆(210)相垂直设置。

3.根据权利要求2所述的单晶炉坩埚吊装工具,其特征在于,所述竖杆(210)可转动地连接于所述基座(100);

所述竖杆(210)与所述基座(100)之间还设有用于限止所述竖杆(210)转动的锁紧结构。

4.根据权利要求1-3任一项所述的单晶炉坩埚吊装工具,其特征在于,多个所述吊杆件(200)呈环形布设,且多个所述吊杆件(200)中的所述支撑部能够从所述坩埚(10)的多个方向对所述坩埚(10)的底面进行支撑。

5.根据权利要求1所述的单晶炉坩埚吊装工具,其特征在于,所述基座(100)包括相连接的多根分支臂,所述分支臂的数量与所述吊杆件(200)的数量相等,且所述分支臂上对应设有所述吊杆件(200)。

6.根据权利要求5所述的单晶炉坩埚吊装工具,其特征在于,多根所述分支臂呈环形布设,且相邻两根所述分支臂之间的夹角相等;

所述吊杆件(200)设置于所述分支臂的第一端,所述分支臂远离所述吊杆件(200)的第二端一体设置。

7.根据权利要求6所述的单晶炉坩埚吊装工具,其特征在于,所述分支臂包括第一杆部(110)和第二杆部(120),所述第一杆部(110)与所述第二杆部(120)可拆卸连接;

所述第一端位于所述第一杆部(110),且所述吊杆件(200)安装于所述第一杆部(110),所述第二端位于所述第二杆部(120)。

8.根据权利要求1所述的单晶炉坩埚吊装工具,其特征在于,所述基座(100)的中心位置设有吊环(300)。

9.根据权利要求6所述的单晶炉坩埚吊装工具,其特征在于,所述单晶炉坩埚吊装工具还包括升降机(400);

所述升降机(400)用于与所述基座(100)传动连接。

10.根据权利要求9所述的单晶炉坩埚吊装工具,其特征在于,所述升降机(400)包括相垂直设置的伸缩臂(410)和固定臂(420),所述固定臂(420)固定连接于所述伸缩臂(410)的动力输出端;

所述固定臂(420)上设有吊钩(430),所述吊钩(430)与所述基座(100)上的吊环(300)挂接。

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