[实用新型]单晶炉坩埚吊装工具有效
申请号: | 202120077260.4 | 申请日: | 2021-01-12 |
公开(公告)号: | CN214456187U | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 夏秋良;刘坤 | 申请(专利权)人: | 新美光(苏州)半导体科技有限公司 |
主分类号: | B66C1/22 | 分类号: | B66C1/22 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 张伟 |
地址: | 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉 坩埚 吊装 工具 | ||
1.一种单晶炉坩埚吊装工具,其特征在于,包括:基座(100)和安装于所述基座(100)的多个吊杆件(200);
所述吊杆件(200)远离所述基座(100)的一端设有支撑部;
多个所述吊杆件(200)之间围成用于容纳坩埚(10)的空间,所述支撑部能够相对所述基座(100)转动,以使多个所述支撑部转动至坩埚(10)的底面,并支撑所述坩埚(10)的底面。
2.根据权利要求1所述的单晶炉坩埚吊装工具,其特征在于,所述吊杆件(200)包括竖杆(210);
所述支撑部包括支撑板(220),所述支撑板(220)与所述竖杆(210)相垂直设置。
3.根据权利要求2所述的单晶炉坩埚吊装工具,其特征在于,所述竖杆(210)可转动地连接于所述基座(100);
所述竖杆(210)与所述基座(100)之间还设有用于限止所述竖杆(210)转动的锁紧结构。
4.根据权利要求1-3任一项所述的单晶炉坩埚吊装工具,其特征在于,多个所述吊杆件(200)呈环形布设,且多个所述吊杆件(200)中的所述支撑部能够从所述坩埚(10)的多个方向对所述坩埚(10)的底面进行支撑。
5.根据权利要求1所述的单晶炉坩埚吊装工具,其特征在于,所述基座(100)包括相连接的多根分支臂,所述分支臂的数量与所述吊杆件(200)的数量相等,且所述分支臂上对应设有所述吊杆件(200)。
6.根据权利要求5所述的单晶炉坩埚吊装工具,其特征在于,多根所述分支臂呈环形布设,且相邻两根所述分支臂之间的夹角相等;
所述吊杆件(200)设置于所述分支臂的第一端,所述分支臂远离所述吊杆件(200)的第二端一体设置。
7.根据权利要求6所述的单晶炉坩埚吊装工具,其特征在于,所述分支臂包括第一杆部(110)和第二杆部(120),所述第一杆部(110)与所述第二杆部(120)可拆卸连接;
所述第一端位于所述第一杆部(110),且所述吊杆件(200)安装于所述第一杆部(110),所述第二端位于所述第二杆部(120)。
8.根据权利要求1所述的单晶炉坩埚吊装工具,其特征在于,所述基座(100)的中心位置设有吊环(300)。
9.根据权利要求6所述的单晶炉坩埚吊装工具,其特征在于,所述单晶炉坩埚吊装工具还包括升降机(400);
所述升降机(400)用于与所述基座(100)传动连接。
10.根据权利要求9所述的单晶炉坩埚吊装工具,其特征在于,所述升降机(400)包括相垂直设置的伸缩臂(410)和固定臂(420),所述固定臂(420)固定连接于所述伸缩臂(410)的动力输出端;
所述固定臂(420)上设有吊钩(430),所述吊钩(430)与所述基座(100)上的吊环(300)挂接。
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