[实用新型]探针装置及探针装置组

说明书

本实用新型提出一种用以测试受测物的良率的探针装置及探针装置组，其不仅移除了传统探针的针管，也改用片状的弹性体来取代传统螺旋弹簧，让电流于探针内的传输更快速的同时也更加稳定，加上尾体部的变化更让探针装置的应用范围更加的广泛。探针装置具有一针头、一针尾、及一导电组件，且位于导电组件中的二环形体上设置数个内凸点以及在针头和针尾设置相对应的凹槽，使导电组件能够更稳固的与针头及针尾连接。

技术领域

本实用新型是关于一种探针，特别是关于一种利用弹性体导电的探针，其使用片状弹性体取代传统弹簧，不但能加速电流传输，更是消耗较少的材料制作。

背景技术

探针技术于科技产业中属于不可或缺的一环，探针被广泛的使用于电流连接等相关领域，尤其是关于半导体或芯片等高科技组件，而这些组件为了确保良率，皆须经过一些测试及检验等。

目前市面上的测试方法之一为使用一种半导体测试装置来检测受测物A的导电及相关等数据。如图12及13所示，该测试装置包含针头91、针管92、及针尾 94，而针管92内以弹性体95连接针头91及针尾94。当针头91触碰受测物A时，内部的弹性体95被挤压，同时针头91及针尾94偏移并触碰于针管92。此时，针尾94 接收电流讯号后藉由针管92传至针头91，再由针头91传导至受测物A。然而，现有技术中的针头91及针尾94在偏移时与针管92未能够确实的接触，导至电流讯号的传输不稳定并影响测试的质量，使测试效果不佳的情形发生。

有鉴于此，提出一种更佳的改善方案，乃为业界亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提出一种探针装置，其使用片状弹性体让电流于探针内传输。

为达上述目的，本实用新型所提出的探针装置具有：

一针头，其具有：

一第一固定部；及

一针体部，其固设于该第一固定部；

一针尾，其具有：

一第二固定部，其中心轴延伸线与该第一固定部的中心轴延伸线重合；及

一尾体部，其固设于该第二固定部，并自该第二固定部向远离该针头的方向延伸；以及

一导电组件，其设置于该针头及该针尾之间，并具有：

一第一环形体，其套设于该第一固定部；

一第二环形体，其套设于该第二固定部；及

一弹性体，其为片状，且两端分别与该第一环形体及该第二环形体相连接；

其中，一电流能由该针尾经由该导电组件传导至该针头，或由该针头经由该导电组件传导至该针尾。

如前述的探针装置，该第一固定部具有一第一凹槽，其位于该第一固定部的一侧面并环绕该第一固定部；该第一环形体嵌设于该第一凹槽内；且该第二固定部具有一第二凹槽，其位于该第二固定部的一侧面并环绕该第二固定部；该第二环形体嵌设于该第二凹槽内。

如前述的探针装置，该第一固定部具有一第一凹槽，其位于该第一固定部的一侧面并环绕该第一固定部；该第一环形体嵌设于该第一凹槽内；且该第二固定部具有一第二凹槽，其位于该第二固定部的一侧面并环绕该第二固定部；该第二环形体嵌设于该第二凹槽内。

如前述的探针装置，该第一固定部具有一第一凹槽，其位于该第一固定部的一侧面并环绕该第一固定部；该第二固定部具有一第二凹槽，其位于该第二固定部的一侧面并环绕该第二固定部；且该导电组件具有多个内凸点，部分的该多个内凸点设置于该第一环形体的内侧并嵌设于该第一凹槽，其余的该多个内凸点设置于该第二环形体的内侧并嵌设于该第二凹槽。

如前述的探针装置，该第一环形体及该第二环形体分别为C形环。