[发明专利]一种下沉式真空腔体在审
| 申请号: | 202111640869.9 | 申请日: | 2021-12-29 |
| 公开(公告)号: | CN114481081A | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
| 发明(设计)人: | 张俊峰;赵子东;许春立;魏庆瑄 | 申请(专利权)人: | 上海子创镀膜技术有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C16/54;C23C16/455 |
| 代理公司: | 上海尊肃专利代理事务所(普通合伙) 31454 | 代理人: | 李珍珍 |
| 地址: | 201506 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 下沉 空腔 | ||
1.一种下沉式真空腔体,其特征在于,包括底板(1),所述底板(1)边沿的顶部均固接有侧板(2),侧板(2)的顶端设有沿口板(3),位于左侧的所述侧板(2)上设有抽气口(4)和支撑臂(12),四个所述侧板(2)围成的空腔内下沉有盖板(5),盖板(5)底部两侧安装有放气挡板(6),放气挡板(6)两侧均设有一排气孔(7);所述盖板(5)的顶部固接有盖板下沉板(8),且盖板下沉板(8)的底部置于沿口板(3)的顶部;所述盖板下沉板(8)的顶部固接有“口”字型的围板(9),所述盖板下沉板(8)的两侧顶部且于围板(9)内均设有快速放气进气口(10)和软放气进气口(11);所述盖板下沉板(8)的顶部固接有盖板翻转臂(20),且盖板翻转臂(20)的一端延伸至围板(9)的外部并与支撑臂(12)活动连接;位于底板(1)两端的侧板(2)外侧均固接有端板(13),端板(13)上于围板(9)的对应处开设有若干固定孔(14),且固定孔(14)内活动设有紧固螺栓(15)。
2.根据权利要求1所述的一种下沉式真空腔体,其特征在于:所述放气挡板(6)呈“U”型结构,且快速放气进气口(10)和软放气进气口(11)的底端均与放气挡板(6)内部连通。
3.根据权利要求1所述的一种下沉式真空腔体,其特征在于:所述围板(9)远离支撑臂(12)的一侧两端均与端板(13)铰接。
4.根据权利要求1所述的一种下沉式真空腔体,其特征在于:所述盖板下沉板(8)的底部开设有双密封槽(16),双密封槽(16)与沿口板(3)对应设置,且双密封槽(16)内均设有密封圈,且密封圈凸出于双密封槽(16)的槽口。
5.根据权利要求1所述的一种下沉式真空腔体,其特征在于:所述围板(9)的外侧壁与固定孔(14)的对应处开设有连接孔(17),且连接孔(17)与紧固螺栓(15)的头端连接。
6.根据权利要求1所述的一种下沉式真空腔体,其特征在于:所述盖板下沉板(8)的顶部于围板(9)的内部设有若干横向加强筋(18)和纵向加强筋(19),且纵向加强筋(19)固定套接在横向加强筋(18)的顶部。
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