[发明专利]透镜自动切换机构

说明书

本申请公开了一种透镜自动切换机构，包括：底板，形成有安装平面；转台，转台通过驱动模块设置于所述安装平面，转台上设有安装位；载台，载台安装于所述安装位，用于对镜片进行固定，载台包括滑台和调节台，滑台用于控制载台的水平位置，调节台用于控制载台的角度，其中调节台包括固定板、第一调节板、第二调节板、第一连接部和第二连接部，固定板、第一调节板和第二调节板按顺序在滑台端面依次排布，且固定板和第一调节板之间通过第一连接部弹性连接，第一调节板和第二调节板之间通过第二连接部弹性连接。设有多个工位安装不同镜片，以完成不同工艺产品的加工要求，能根据不同产品的特性需求可以实现多焦点自动切换。

技术领域

本申请涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种透镜自动切换机构。

背景技术

在半导体激光切割光路中，在对激光光路设计、激光多焦点自动切割等常常用到镜架固定镜片，现有技术中，大多数机构采用单一镜架固定单个镜片，加工不同产品时不能实现自动化功能，需手动切换镜片，每次更换需重新调节光路，耗时且不方便人员操作。

为此，本申请提出一种根据不同产品的特性需求可以实现多焦点自动切换的机构。

发明内容

为了解决现有技术的不足，本申请的主要目的在于提供透镜自动切换机构，提供一种吸附效果稳定、适用范围广泛、具有散热功能以及产品升降功能的载台。

为了达到上述目的，本申请提供了一种透镜自动切换机构，包括：

底板，形成有安装平面；

转台，转台通过驱动模块设置于所述安装平面，转台上设有安装位；

载台，载台安装于所述安装位，用于对镜片进行固定，载台包括滑台和调节台，滑台用于控制载台的水平位置，调节台用于控制载台的角度，

其中调节台包括固定板、第一调节板、第二调节板、第一连接部和第二连接部，固定板、第一调节板和第二调节板按顺序在滑台端面依次排布，且固定板和第一调节板之间通过第一连接部弹性连接，第一调节板和第二调节板之间通过第二连接部弹性连接。

优选地，所述调节台还包括控制部和顶升轴，控制部包括第一旋钮和第二旋钮，顶升轴包括第一顶升轴和第二顶升轴，

第一顶升轴设置于固定板和第一调节板之间，用于对第一调节板进行顶升；

第二顶升轴设置于第一调节板和第二调节板之间，用于对第二调节板进行顶升；

第一旋钮和通过螺纹连接于第一顶升轴，第二旋钮通过螺纹连接于第二顶升轴，通过第一旋钮控制第一顶升轴相对第一调节板的伸缩，通过第二旋钮控制第二顶升轴相对第二调节板的伸缩。

优选地，所述第一顶升轴倾斜设置于固定板和第一调节板之间，第二顶升轴倾斜设置于第一调节板和第二调节板之间。

优选地，所述滑台包括底座、滑动板、固定块和推动部，底座固定于所述安装位，滑动板滑动连接于底座，固定块和推动部设于滑台一侧，固定块固定在滑动板侧部，推动部固定于底座侧部，通过推动部伸缩对固定块进行推拉，从而驱动滑动板在底座上往复移动。

优选地，所述驱动模块包括电机、带轮一和带轮二，电机驱动轴上设有带轮一，带轮二连接于所述转台上，所述带轮一和带轮二通过传动带连接。

优选地，透镜自动切换机构还包括调节组件，调节组件包括调节块和调节架，调节架设置于所述底板和所述电机之间，调节块设置于所述底板侧部，调节组件用于对传动带松紧带进行调整。

优选地，所述调节架包括上连接板、下连接板和连接柱，上连接板和下连接板通过连接柱平行设置，

上连接板设有条形孔，上连接板由螺钉通过条形孔连接于所述底板，螺钉拧紧时，上连接板固定于所述底板，螺钉拧松时，上连接板可以通过条形孔在所述底板滑动，用于调节架重新定位；