[发明专利]设备数据采集诊断方法、装置、服务器及存储介质在审

专利信息
申请号: 202111576847.0 申请日: 2021-12-22
公开(公告)号: CN114265390A 公开(公告)日: 2022-04-01
发明(设计)人: 王刚;张文兵;高峰 申请(专利权)人: 苏州华星光电技术有限公司
主分类号: G05B23/02 分类号: G05B23/02
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 杨艇要
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 设备 数据 采集 诊断 方法 装置 服务器 存储 介质
【权利要求书】:

1.一种设备数据采集诊断方法,其特征在于,应用于数据采集诊断系统,所述数据采集诊断系统用于采集多个工站的数据,所述方法包括:

获取所述多个工站中目标工站在生产过程中产生的工站数据;

对所述工站数据进行分析对比,以判断所述工站数据是否异常;

若所述工站数据异常,则确定所述工站数据的异常程度;

根据所述工站数据的异常程度,对所述目标工站进行处理,避免所述目标工站产生新的异常工站数据。

2.根据权利要求1所述的设备数据采集诊断方法,其特征在于,所述获取所述多个工站中目标工站在生产过程中产生的工站数据,包括:

以所述多个工站中任意工站为目标工站,获取所述目标工站在生产过程中设定的主制程设备重要参数;

获取所述目标工站在生产过程中产生的产品对应的产品检测数据;

所述工站数据包括所述主制程设备重要参数和所述产品检测数据。

3.根据权利要求2所述的设备数据采集诊断方法,其特征在于,所述对所述工站数据进行对比分析,以判断所述工站数据是否异常,包括:

对所述主制程设备重要参数进行对比分析,判断所述主制程设备重要参数是否异常;

对所述产品检测数据进行对比分析,判断所述产品检测数据是否异常;

若所述主制程设备重要参数和所述产品检测数据中任意数据异常,则确定所述工站数据异常。

4.根据权利要求3所述的设备数据采集诊断方法,其特征在于,所述对所述主制程设备重要参数进行对比分析,判断所述主制程设备重要参数是否异常,包括:

获取预设的主制程设备重要参数第一预设范围;

判断所述主制程设备重要参数,是否在所述主制程设备重要参数第一预设范围内;

若所述主制程设备重要参数不在所述主制程设备重要参数第一预设范围内,确定所述主制程设备重要参数异常。

5.根据权利要求3所述的设备数据采集诊断方法,其特征在于,所述对所述产品检测数据进行对比分析,判断所述产品检测数据是否异常,包括:

获取预设的产品检测数据第二预设范围;

判断所述产品检测数据,是否在所述产品检测数据第二预设范围内;

若所述产品检测数据不在所述产品检测数据第二预设范围内,确定所述产品检测数据异常。

6.根据权利要求3所述的设备数据采集诊断方法,其特征在于,所述若所述工站数据异常,则确定所述工站数据的异常程度,包括:

分别判断所述主制程设备重要参数和所述产品检测数据对应的异常程度,以确定所述工站数据的异常程度。

7.根据权利要求6所述的设备数据采集诊断方法,其特征在于,所述根据所述工站数据的异常程度,对所述目标工站进行处理,避免所述目标工站产生新的异常工站数据,包括:

若所述工站数据为轻度异常,则生成第一告警信息,且所述目标工站检测并调整自身对应的主制程设备重要参数;

若所述工站数据为重度异常,则生成第二告警信息。

8.一种设备数据采集诊断装置,其特征在于,应用于数据采集诊断系统,所述数据采集诊断系统包括多个工站,所述装置包括:

获取单元,用于获取所述多个工站中目标工站在生产过程中产生的工站数据;

第一判断单元,用于对所述工站数据进行分析对比,以确定所述工站数据是否异常;

第二判断单元,用于若所述工站数据异常,则确定所述工站数据的异常程度;

处理单元,用于根据所述工站数据的异常程度,对所述目标工站进行处理,避免所述目标工站产生新的异常工站数据。

9.一种服务器,其特征在于,所述服务器包括:

一个或多个处理器;

存储器;以及

一个或多个应用程序,其中所述一个或多个应用程序被存储于所述存储器中,并配置为由所述处理器执行以实现权利要求1至7任一项所述的设备数据采集诊断方法。

10.一种计算机可读存储介质,其特征在于,其上存储有计算机程序,所述计算机程序被处理器进行加载,以执行权利要求1至7任一项所述的设备数据采集诊断方法中的步骤。

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