[发明专利]一种超薄柔性保形超材料吸波器及其制备方法

权利要求书

1.一种超薄柔性保形超材料吸波器，其特征在于，由若干单元结构周期性阵列组成；所述单元结构由电磁谐振层、介电层、金属接地层组成，电磁谐振层位于介电层之上，介电层位于金属接地层之上，电磁谐振层、介电层、金属接地层的几何中心在竖直方向上重合；所述谐振器由圆环和十字结构组合而成，十字结构设置在圆环内侧，且十字结构的几何中心与圆环圆心重合。

2.如权利要求1所述的一种超薄柔性保形超材料吸波器，其特征在于，所述电磁谐振层、介电层、金属接地层之间依次使用光学透明胶粘剂热压成型。

3.如权利要求1所述的一种超薄柔性保形超材料吸波器，其特征在于，所述电磁谐振层所用材料是金属铜，电导率为5.8×10⁷S/m。

4.如权利要求1所述的一种超薄柔性保形超材料吸波器，其特征在于，所述电磁谐振层的单元周期为26mm，电磁谐振层的层厚为0.018mm。

5.如权利要求1所述的一种超薄柔性保形超材料吸波器，其特征在于，所述谐振器主体为薄铜板，在薄铜板上进行镂空处理，获得镂空圆环和镂空十字结构，且镂空圆环和镂空十字结构的几何中心均与薄铜板的几何中心重合。

6.如权利要求5所述的一种超薄柔性保形超材料吸波器，其特征在于，所述圆环内径为11mm，圆环宽度为1.8mm；所述十字结构为正十字结构，其单边臂长为13mm，臂宽为2mm。

7.如权利要求1所述的一种超薄柔性保形超材料吸波器，其特征在于，所述介电层采用柔性材料聚酰亚胺，介电常数为3，介质的损耗角正切值为0.06；介电层的单元周期为26mm，介电层的层厚为0.4mm。

8.如权利要求1所述的一种超薄柔性保形超材料吸波器，其特征在于，所述金属接地层所用材料是金属铜，电导率为5.8×10⁷S/m；金属接地层的单元周期为26mm，金属接地层的层厚为0.018mm。

9.如权利要求1所述的一种超薄柔性保形超材料吸波器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1.配料：通过材料配比，获得聚酰亚胺板作为介电层；

S2.含浸：将制备完成的聚酰亚胺板置于真空压强0.05MPa的有机含浸液内、取出后在已经预热的红外线烘道中保持40至60分钟；

S3.开料：将聚酰亚胺板裁切成234mm×234mm的正方形板料，将铜膜裁切成234mm×234mm的正方形；

S4.热压：利用热压机将上下两层铜膜和聚酰亚胺板压合在一起，热压时间35分钟，温度维持在204℃；

S5.磨板：用细水砂纸将铜膜打磨，去除氧化，增加铜面粗糙度；

S6.贴膜：将步骤S5处理后的聚酰亚胺板贴上干膜活湿膜，获得基板；

S7.曝光：将底片与压好干膜的基板对位，底片图形为镂空圆环十字，镂空圆环的外半径为11mm，宽度为1.8mm，镂空十字的长为13mm，宽度为2mm；在曝光机上利用紫外光的照射，将底片图形转移到干膜上；

S8.显影：利用显影液的弱碱性将未经曝光的干膜或湿膜溶解冲洗掉，已曝光的镂空圆环和十字形状保留；

S9.蚀刻：未经曝光的干膜或湿膜被显影液去除后，露出圆环和十字形状的铜面结构，用酸性氯化铜将圆环和十字形状的铜面结构溶解腐蚀掉，得到所需的镂空表面结构；

S10.退膜：将已曝光的干膜或湿膜用氢氧化钠溶液剥掉，露出镂空图形。