[发明专利]一种用于改善轴承橡胶密封圈耐磨损性能的表面处理方法

权利要求书

1.一种用于改善轴承橡胶密封圈耐磨损性能的表面处理方法，其特征在于：包括如下步骤：

S1：将橡胶密封圈进行超声清洗后置于真空室中，真空室的气压降至3×10^-3Pa以上后通入氩气，辉光放电形成等离子体对溅射靶材进行清洗，所述溅射靶材包括含Cu、Mo中一种或两种金属元素且具有催化润滑油分子降解产生类石墨碳润滑层功能的第一溅射靶材、以及由石墨或纯钛及其Ti基构成的第二溅射靶材；

S2：在橡胶密封圈通过S1的处理后，向真空室内通入气体并调节气压至0.5～5.0Pa，在橡胶密封圈上施加-10～-200V的偏压，然后开启溅射电源，将所述第一溅射靶材溅射至橡胶密封圈表面，其平均功率为0W/cm²～3W/cm²，再将第二溅射靶材溅射至橡胶密封圈表面，其平均功率为1W/cm²～10W/cm²，在橡胶密封件表面沉积含Cu、Mo中一种或两种金属元素的薄膜材料，所述薄膜材料中Cu或Mo元素物质的量占比为1％～10％。

2.根据权利要求1所述的一种用于改善轴承橡胶密封圈耐磨损性能的表面处理方法，其特征在于：所述第一溅射靶包括含Cu、Mo中一种或两种金属元素的纯金属或合金靶。

3.根据权利要求1所述的一种用于改善轴承橡胶密封圈耐磨损性能的表面处理方法，其特征在于：所述第二溅射靶材采用纯石墨靶、纯Ti或含一种或多种元素的高熵合金靶材。

4.根据权利要求1所述的一种用于改善轴承橡胶密封圈耐磨损性能的表面处理方法，其特征在于：所述气体采用纯氩气或氩气与碳源、氮源气体的混合气体。

5.根据权利要求4所述的一种用于改善轴承橡胶密封圈耐磨损性能的表面处理方法，其特征在于：所述混合气体为Ar/C₂H₂、Ar/CH₄、Ar/N₂中的一种或多种的组合。

6.根据权利要求1所述的一种用于改善轴承橡胶密封圈耐磨损性能的表面处理方法，其特征在于：所述橡胶密封圈材质采用丁腈橡胶、硅橡胶或氟橡胶。