[发明专利]一种同轴取压压力传感器

说明书

本发明公开了一种同轴取压压力传感器，包括引压模块，该引压模块的下方设有用于与外部压力源连接的安装部，该引压模块的上方用于安装信号处理模块，引压模块内开设有两个引压通道和两个取压腔，取压腔为水平薄层空腔，两个薄层空腔上下分布并相互平行，引压通道的两端分别为引压入口和引压出口，其中两个引压入口与两个取压腔一一对应，引压入口朝向相应的取压腔，两个引压入口分别密封覆盖有隔离膜片，以将取压腔与引压入口分隔，引压模块上开设有两个用于将外部压力源引入的外压通道，两个外压通道的内端分别与两个取压腔连通。与现有常规的左右引压结构相比，本发明的引压模块结构紧凑，有利于缩小整个传感器的尺寸。

技术领域

本发明涉及一种压力测量装置，具体涉及一种同轴取压压力传感器。

背景技术

压力传感器广泛用于流体压力测量，其依靠压力敏感元件感应外部压力，压力敏感元件再将压力信号转化为电信号，电信号传给信号处理单元以得到压力值。现有的压力传感器根据压力敏感元件的不同可划分为多种类型，常见地有电阻式压力传感器、压电石英晶体型压力传感器、电容式压力传感器等。其中，电容式压力传感器的核心检测元件是膜片式差压传感器。膜片式差压传感器包括两个圆盘状的膜座，两个膜座之间设有测量膜片，两个膜座对焊连接，将测量膜片夹紧。测量膜片与两个膜座之间分别设有用于容纳硅油的感应腔，两个感应腔分别连接有引压管，引压管将外部待测压力引入测量膜片两侧。由于两侧压强不同，测量膜片向压强较小侧变形，变形量的大小反映为电容信号的变化。由于涉及与外部压力源的连接以及静压传导，现有的电容式压力传感器结构相对复杂。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种同轴取压压力传感器。

其技术方案如下：

一种同轴取压压力传感器，包括引压模块，其关键在于，该引压模块的下方设有用于与外部压力源连接的安装部，该引压模块的上方用于安装信号处理模块；

所述引压模块内开设有两个引压通道和两个取压腔，所述取压腔为水平薄层空腔，两个所述薄层空腔上下分布并相互平行；

所述引压通道的两端分别为引压入口和引压出口，其中两个所述引压入口与两个所述取压腔一一对应，所述引压入口朝向相应的所述取压腔；

两个所述引压入口分别密封覆盖有隔离膜片，以将所述取压腔与所述引压入口分隔；

所述引压模块上开设有两个用于将外部压力源引入的外压通道，两个所述外压通道的内端分别与两个所述取压腔连通。

作为优选技术方案，两个所述取压腔分别为第一薄层空腔和第二薄层空腔；

所述引压模块包括圆柱状的引压座，该引压座底面上开设有安装盲孔，所述安装盲孔内固定设置有测量引压块，该测量引压块与所述安装盲孔孔底之间密封围成所述第一薄层空腔；

所述引压座的底面上扣盖有下端盖，该下端盖与所述测量引压块下表面之间密封围成所述第二薄层空腔。

作为优选技术方案，上述安装盲孔为多级台阶孔，所述测量引压块呈圆柱状，所述测量引压块的侧壁与所述安装盲孔台阶配合，所述测量引压块的外壁圆周面与所述安装盲孔的内壁圆周面密封焊接。

作为优选技术方案，两个所述引压通道分别为大气引压通道和测量引压通道，其中所述大气引压通道对应的取压腔为大气取压腔，所述测量引压通道对应的取压腔为测量取压腔；

两个所述引压通道的引压入口分别连接有喇叭口，两个所述喇叭口的开口朝向相应的所述取压腔，两个所述喇叭口上分别密封覆盖有所述隔离膜片；

其中，所述安装盲孔的孔底上开设有一个所述喇叭口，该喇叭口与所述大气引压通道的引压入口连通；

所述测量引压块下表面上开设有另一个所述喇叭口，该喇叭口与所述测量引压通道的引压入口连通。