[发明专利]铝电解电容器用高压铝箔掩膜均匀腐蚀发孔的制造方法

权利要求书

1.一种铝电解电容器用高压铝箔掩膜均匀腐蚀发孔的制造方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

步骤（1）对铝箔光箔进行表面处理，清除表面油污，提高光箔表面活性；

步骤（2）预处理完成的铝箔进入液态掩膜剂槽内，在传动作用下，铝箔从掩膜槽拉出，同时表面附着一层掩膜剂,所述掩膜剂在铝箔表面附着形成掩膜层；

步骤（3）覆盖掩膜剂的铝箔进入干燥设备，经过干燥后，表面形成掩膜干膜；

步骤（4）通过使用预设好的图形对掩膜干膜进行曝光，使掩膜干膜面形成均匀的圆孔形状；

步骤（5）使用显影剂对步骤（4）中曝光完成的掩膜干膜进行显影，洗去掩膜干膜上的圆孔形状，露出均匀孔状的铝箔面；

步骤（6）将步骤（5）中的铝箔送入腐蚀槽，通过电化学腐蚀，所述电化学腐蚀采用直流电腐蚀，在铝箔正反表面形成均匀分布的腐蚀发孔。

2.根据权利要求1所述的一种铝电解电容器用高压铝箔掩膜均匀腐蚀发孔的制造方法，其特征在于，所述铝箔厚度范围为50～150μm。

3.根据权利要求1所述的一种铝电解电容器用高压铝箔掩膜均匀腐蚀发孔的制造方法，其特征在于，所述步骤（2）中所述的掩膜层厚度为1～2μm。

4.根据权利要求1所述的一种铝电解电容器用高压铝箔掩膜均匀腐蚀发孔的制造方法，其特征在于，所述步骤（2）中的所述掩膜剂为液态耐酸碱感光抗蚀油墨。

5.根据权利要求4所述的一种铝电解电容器用高压铝箔掩膜均匀腐蚀发孔的制造方法，其特征在于，所述液态耐酸碱感光抗蚀油墨的粘度为20mpa.s～40mpa.s；所述液态耐酸碱感光抗蚀油墨通过添加有机稀释剂调剂粘度。

6.根据权利要求1所述的一种铝电解电容器用高压铝箔掩膜均匀腐蚀发孔的制造方法，其特征在于，所述步骤（3）中的烘干设备包括了垂直烘干设备和水平烘干设备，所述垂直烘干设备对铝箔进行预烘，预烘后，再进入充满氮气循环保护的水平烘干设备中，对铝箔进行烘干。

7.根据权利要求8所述的一种铝电解电容器用高压铝箔掩膜均匀腐蚀发孔的制造方法，其特征在于，所述垂直烘干设备的烘干温度为90℃，烘干时间为30s；所述水平烘干设备的烘干温度为100～200℃，烘干时间为1min～2min。

8.根据权利要求1所述的一种铝电解电容器用高压铝箔掩膜均匀腐蚀发孔的制造方法，其特征在于，所述步骤（4）中，所述曝光精度为1~5μm，曝光能量为500mJ～2000mJ。

9.根据权利要求1所述的一种铝电解电容器用高压铝箔掩膜均匀腐蚀发孔的制造方法，其特征在于，所述步骤（6）中所述的直流电腐蚀的腐蚀电流密度为0.05A/cm²～0.5A/cm²。