[发明专利]一种用于飞点扫描干涉仪的像方远心物镜

权利要求书

1.一种用于飞点扫描干涉仪的像方远心物镜，其特征在于，包括沿光轴方向从物侧至像侧依次设有第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜和第十二透镜；

所述第一透镜具有正光焦度，所述第二透镜具有正光焦度，所述第三透镜具有正光焦度第三透镜，所述第四透镜具有负光焦度，所述第五透镜具有正光焦度，所述第六透镜具有负光焦度，所述第七透镜具有负光焦度，所述第八透镜具有正光焦度，所述第九透镜具有正光焦度，所述第十透镜具有负光焦度，所述第十一透镜具有正光焦度，所述第十二透镜具有正光焦度；

还包括入瞳和视场主光线，所述入瞳设于第一透镜的一侧，且入瞳和第二透镜设在第一透镜的相对侧；所述视场主光线设在第十二透镜第一侧。

2.根据权利要求1所述的一种用于飞点扫描干涉仪的像方远心物镜，其特征在于，所述第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜、第十一透镜和第十二透镜均为球面透镜；所述第十透镜为胶合透镜。

3.根据权利要求1所述的一种用于飞点扫描干涉仪的像方远心物镜，其特征在于，所述入瞳设于物镜物方焦平面的位置。

4.根据权利要求1所述的一种用于飞点扫描干涉仪的像方远心物镜，其特征在于，所述第一透镜的焦距f1的取值范围为-10≤f1/f≤-1；

所述第二透镜的焦距f2的取值范围为-10≤f2/f≤-1；

所述第三透镜的焦距f3的取值范围为-10≤f3/f≤-0.5；

所述第四透镜的焦距f4的取值范围为0.5≤f4/f≤10；

所述第五透镜的焦距f5的取值范围为-5≤f5/f≤-0.5；

所述第六透镜的焦距f6的取值范围为0.5≤f6/f≤5；

所述第七透镜的焦距f7的取值范围为1≤f7/f≤10；

所述第八透镜的焦距f8的取值范围为-10≤f8/f≤-1；

所述第九透镜的焦距f9的取值范围为-10≤f9/f≤-1；

所述第十透镜的焦距f10的取值范围为10≤f10/f≤100；

所述第十一透镜的焦距f11的取值范围为-10≤f11/f≤-1；

所述第十二透镜的焦距f12的取值范围为-5≤f12/f≤-0.5；

其中，f为组合镜头的焦距。

5.根据权利要求1所述的一种用于飞点扫描干涉仪的像方远心物镜，其特征在于，所述第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜组成将不同视场的光线汇聚在第一镜组的像面处。

6.根据权利要求5所述的一种用于飞点扫描干涉仪的像方远心物镜，其特征在于，所述第五透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜和第十二透镜组成具有消除第一镜组产生场曲的第二镜组。

7.根据权利要求5所述的一种用于飞点扫描干涉仪的像方远心物镜，其特征在于，所述第五透镜处形成有一次像面。

8.根据权利要求7所述的一种用于飞点扫描干涉仪的像方远心物镜，其特征在于，所述视场主光线经过第十二透镜后垂直射向像面。

9.根据权利要求1所述的一种用于飞点扫描干涉仪的像方远心物镜，其特征在于，物镜的数值孔径NA的取值范围为0.4≤NA≤0.6。

10.根据权利要求1所述的一种用于飞点扫描干涉仪的像方远心物镜，其特征在于，物镜的远心度CRA的取值范围为CRA≤0.3度。