[发明专利]一种用于激光边缘扫描消光的方法

权利要求书

1.一种用于激光边缘扫描消光的方法，其特征在于：场镜镜片组中的其中一镜片为移动片，当激光扫描进入边缘区域时，控制移动片沿光轴方向产生位移，使激光焦点在边缘区域离开焦平面，激光聚焦在靶材的上方，激光处于离焦状态，聚焦在材料表面的光斑变大；当激光扫描离开边缘区域时，控制移动片恢复原有位置，使激光焦点重新恢复在焦平面位置。

2.如权利要求1所述的用于激光边缘扫描消光的方法，其特征在于：边缘区域为一次扫描区域的两端端部起向内≤5mm宽度的区域；移动片的位移量为0-1mm。

3.如权利要求1或2所述的用于激光边缘扫描消光的方法，其特征在于：当激光扫描进入边缘区域时，控制移动片沿光轴方向产生位移，使激光整个焦点空间分布为球面分布。

4.如权利要求1或2所述的用于激光边缘扫描消光的方法，其特征在于：移动片的两端安装有可沿光轴方向移动的压电模组，压电模组包括压电陶瓷片、压电陶瓷驱动器和形变放大机构,压电陶瓷驱动器、压电陶瓷片和形变放大机构依次连接，给压电陶瓷驱动器电压信号，压电陶瓷驱动器驱动压电陶瓷片发生形变，压电陶瓷通过放大机构使得与放大机构末梢连接的移动镜片发生位移。

5.如权利要求4所述的用于激光边缘扫描消光的方法，其特征在于：压电陶瓷驱动器驱动压电陶瓷片发生形变，形变数量级为um级别，再通过形变放大机构将um形变放大成mm形变，使得与放大机构末梢连接的移动镜片发生mm级位移。

6.如权利要求4所述的用于激光边缘扫描消光的方法，其特征在于：当激光点横向扫描进入距离边缘端点5mm时，开始触发压电模组，带动移动片从标准位置沿光路反方向或正方向移动1mm，然后激光点横向扫描到边缘端点；再从边缘端点往回扫描，当离开边缘端点5mm后，压电模组带动移动片沿光路正方向或反方向移动1mm恢复到标准位置。

7.如权利要求4所述的用于激光边缘扫描消光的方法，其特征在于：移动片移动速≥1mm/50us。

8.如权利要求4所述的用于激光边缘扫描消光的方法，其特征在于：移动片移动的响应速度为100Khz以上。

9.如权利要求1或2所述的用于激光边缘扫描消光的方法，其特征在于：场镜镜片组中的第一片或最后一片镜片作为移动片。