[发明专利]一种双波长共光路激光干涉测量装置及方法

权利要求书

1.一种双波长共光路激光干涉测量装置，其特征在于，包括宽带平面反射镜(1)、第一宽带偏振分束镜(2)、第一宽带直角棱镜(3)、宽带1/2波片(4)、第二宽带偏振分束镜(5)、第二宽带直角棱镜(6)、第一宽带1/4波片(7)、第二宽带1/4波片(9)、第三宽带直角棱镜(10)、第三宽带偏振分束镜(11)、宽带角锥棱镜(12)、第四宽带偏振分束镜(13)、第四宽带直角棱镜(14)、第三宽带1/4波片(15)、第四宽带1/4波片(16)、第五宽带直角棱镜(17)、第五宽带偏振分束镜(18)、第一光电探测器(19)、第一偏振片(20)、第一滤光片(21)、第二光电探测器(22)、第二偏振片(23)、第二滤光片(24)、二向色镜(25)、激光器(26)；

以长方体待测试样(8)为中心说明各部分位置关系：与长方体待测试样(8)右端面平行上下并排设置第三宽带1/4波片(15)和第二宽带1/4波片(9)，在第三宽带1/4波片(15)和第二宽带1/4波片(9)右侧且与第三宽带1/4波片(15)和第二宽带1/4波片(9)右侧面平行从上到下并排放置第四宽带直角棱镜(14)、第四宽带偏振分束镜(13)、第三宽带偏振分束镜(11)和第三宽带直角棱镜(10)，所述第四宽带直角棱镜(14)直角边与第四宽带偏振分束镜(13)上侧面、第四宽带偏振分束镜(13)下侧面、第三宽带直角棱镜(10)直角边平行；在第四宽带偏振分束镜(13)和第三宽带偏振分束镜(11)的右侧并排设置有宽带角锥棱镜(12)，所述宽带角锥棱镜(12)的斜边与第四宽带偏振分束镜(13)和第三宽带偏振分束镜(11)的右侧面平行；

与长方体待测试样(8)左端面平行上下并排设置第四宽带1/4波片(16)和第一宽带1/4波片(7)，在第四宽带1/4波片(16)和第一宽带1/4波片(7)左侧且与第四宽带1/4波片(16)和第一宽带1/4波片(7)左侧面平行从上到下并排放置第五宽带直角棱镜(17)、第五宽带偏振分束镜(18)、第二宽带偏振分束镜(5)和第二宽带直角棱镜(6)，所述第五宽带直角棱镜(17)直角边与第五宽带偏振分束镜(18)上侧面、第二宽带偏振分束镜(5)下侧面、第二宽带直角棱镜(6)直角边平行；在第二宽带偏振分束镜(5)左侧设置有宽带1/2波片(4)，所述第二宽带偏振分束镜(5)左侧面与宽带1/2波片(4)右侧面平行，所述宽带1/2波片(4)左侧从上到下并排设置有第一宽带偏振分束镜(2)、第一宽带直角棱镜(3)，所述第一宽带直角棱镜(3)一直角边与宽带1/2波片(4)左侧面平行，所述第一宽带直角棱镜(3)另一直角边与第一宽带偏振分束镜(2)下侧面平行；

所述第五宽带直角棱镜(17)与所述第四宽带直角棱镜(14)左右并排且镜像设置，所述第一宽带偏振分束镜(2)、第五宽带偏振分束镜(18)、第四宽带1/4波片(16)、第三宽带1/4波片(15)、第四宽带偏振分束镜(13)左右并排排列，其中所述第五宽带偏振分束镜(18)、第四宽带1/4波片(16)和第三宽带1/4波片(15)、第四宽带偏振分束镜(13)左右镜像设置；所述第一宽带直角棱镜(3)、宽带1/2波片(4)、第二宽带偏振分束镜(5)、第一宽带1/4波片(7)、第二宽带1/4波片(9)、第三宽带偏振分束镜(11)左右并排排列，其中第二宽带偏振分束镜(5)、第一宽带1/4波片(7)和第二宽带1/4波片(9)、第三宽带偏振分束镜(11)左右镜像设置；所述第二宽带直角棱镜(6)、第三宽带直角棱镜(10)左右并排且镜像设置；

所述第一宽带偏振分束镜(2)左侧设置有宽带平面反射镜(1)，所述宽带平面反射镜(1)上侧依次设置有二向色镜(25)、第二滤光片(24)、第二偏振片(23)、第二光电探测器(22)，所述二向色镜(25)右侧依次设置有第一滤光片(21)、第一偏振片(20)、第一光电探测器(19)；

所述宽带平面反射镜(1)、第一宽带偏振分束镜(2)、第一宽带直角棱镜(3)、宽带1/2波片(4)、第二宽带偏振分束镜(5)、第二宽带直角棱镜(6)、第一宽带1/4波片(7)、第二宽带1/4波片(9)、第三宽带直角棱镜(10)、第三宽带偏振分束镜(11)、宽带角锥棱镜(12)、第四宽带偏振分束镜(13)、第四宽带直角棱镜(14)、第三宽带1/4波片(15)、第四宽带1/4波片(16)、第五宽带直角棱镜(17)、第五宽带偏振分束镜(18)能够同时满足λ1和λ2两种激光成分的传输。