[发明专利]EB炉用抽真空系统

说明书

本发明公开了一种EB炉用抽真空系统，用3台螺杆泵、2台罗茨泵替代国内其他同类型EB炉的8台滑阀泵和8台罗茨泵，减少泵组占地面积和降低真空泵组用电量；真空泵组效率提升且整体价格降低；利用阀门控制实现第三阶段螺杆泵对增压泵的预抽，减少一台单独对增压泵的真空泵；将湿式滑阀泵更换为干式罗茨泵，降低真空系统的故障率；缩短EB炉设备抽空时间约2小时。

技术领域

本发明属于电子束冷床熔炼炉(以下简称EB炉)真空系统，具体涉及一种EB炉用抽真空系统。

背景技术

目前，EB炉是熔炼钛及钛合金的重要设备，钛属于高反应性金属，具有高化学活性，在常温下不与气体相互反应，但是在高温下会吸附空气中的氢、氮、氧，即使很少量的吸附，也会影响钛的力学和电气性能。电子枪是EB炉设备中重要部件，0.13Pa真空度是电子枪稳定工作的必要条件，所以EB炉熔炼工作需要在0.13Pa的真空条件下进行。目前进口和国产EB炉抽真空主要设备采用滑阀泵和罗茨泵，由于滑阀泵属于湿式泵，泵腔内的真空油和原材料海绵钛内残留的氯气容易使真空泵油结胶，将滑阀和导轨卡死，造成滑阀泵停止工作，造成滑阀泵故障率居高不下。据青海聚能乌克兰进口EB炉和美国进口EB炉统计，滑阀泵每月卡死一次，严重影响真空系统的抽空效率。因此，研制一种经济适用的EB炉抽真空的方法是一个亟待解决的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种EB炉用抽真空系统，可快速将EB炉内的灰尘杂质、潮气快速去除，并将EB炉内真空度迅速抽至0.13Pa，提升EB炉抽空效率，同时降低真空泵的故障率。

为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案是：一种EB炉用抽真空系统，包含：

增压泵1#、增压泵2#、增压泵3#和增氧泵4#；所述增压泵1#、增压泵2#、增压泵3#和增氧泵4#的进气口分别与气动挡板阀VM81、气动挡板阀VM82、气动挡板阀VM83和气动挡板阀VM84的出口连通，增压泵1#、增压泵2#、增压泵3#和增氧泵4#的出气口分别与气动蝶阀VM21、气动蝶阀VM22、气动蝶阀VM23和气动蝶阀VM24的出口连通，并且气动蝶阀VM21、气动蝶阀VM22、气动蝶阀VM23和气动蝶阀VM24的出口之间相连通；气动挡板阀VM81、气动挡板阀VM82的EB炉的左进料室连通，气动挡板阀VM83、气动挡板阀VM84的EB炉的右进料室连通；

罗茨泵1#和罗茨泵2#；所述罗茨泵1#的进口与气动蝶阀VM35的出口连接，所述气动蝶阀VM35的进口分别与气动蝶阀VM41和气动蝶阀VM42的出口连通，所述气动蝶阀VM41的进口与气动蝶阀VM21的出口连通；所述罗茨泵2#的进口与气动蝶阀VM36的出口连通，罗茨泵1#的出口与气动蝶阀VM14的进口连通，所述气动蝶阀VM36的进口分别与气动蝶阀VM43和气动蝶阀VM44的出口连通，所述气动蝶阀VM44的进口与气动蝶阀VM24的出口连通；所述气动蝶阀VN42和气动蝶阀VM43的进口均与气动蝶阀VM25的出口连通，罗茨泵2#的出口与气动蝶阀VM14的进口连通；气动蝶阀VM25的进口与EB炉的左进料室连通；

螺杆泵1#、螺杆泵2#和螺杆泵3#；所述螺杆泵1#的进口与气动蝶阀VM11的出口连通，气动蝶阀VM11的进口分别与气动蝶阀VM31和气动蝶阀VM32的出口连通，气动蝶阀VM31的进口与气动蝶阀VM21的出口连通，气动蝶阀VM32的进口与气动蝶阀VM14的出口连通，所述螺杆泵2#的进口与气动蝶阀VM12的出口连通，气动蝶阀VM12的进口分别与气动蝶阀VM14和气动蝶阀VM15的出口连通，所述螺杆泵3#的进口与气动蝶阀VM13的出口连通，气动蝶阀VM13的进口与气动蝶阀VM33和气动蝶阀VM34的出口连通，气动蝶阀VM33的进口与气动蝶阀VM15的出口连通，气动蝶阀VM34的进口与气动蝶阀VM24的出口连通；螺杆泵1#、螺杆泵2#和螺杆泵3#的出口分别与手动蝶阀VN101、手动蝶阀VN102、手动蝶阀VN103的进口连通；