[发明专利]激光气体供应气瓶在线监测和安全互锁方法、系统及设备

说明书

本发明公开了一种激光气体供应气瓶在线监测和安全互锁方法、系统及设备，方法包括：实时获取气瓶气体余量检测数据；对获取的气体余量检测数据进行分析处理，并根据处理结果进行报警和/或安全联锁控制。本发明通过将气柜系统中气瓶气体余量数据上传给远程监测系统进行在线监测，并对工作人员发出预警/报警信息，防止因气瓶未及时更换导致激光器无法正常工作，同时节约人力。

技术领域

本发明属于投影光刻机用激光器设备监测技术领域，具体涉及一种激光气体供应气瓶在线监测和安全互锁方法、系统及设备。

背景技术

现有投影光刻机采用的激光器，例如Cymer、Giga Photon激光器等，其通常使用两组气瓶进行供气，工作过程为：由其中一组气瓶进行供气，当该组气瓶中气体用尽后，自动切换至另一组气瓶进行供气；此过程中，两组气瓶的气体余量在光刻平台进行实时显示，需要工作人员去现场进行人工确认，以进行气瓶的更换，浪费大量的人力物力；同时，如果工作人员的疏忽，导致没有及时更换气瓶，导致两组气瓶中气体用尽，从而导致无法供应激光气体，使得激光器无法正常工作。

发明内容

为了解决现有气瓶余量需要进行现场人工确认以进行气瓶更换，存在影响激光器工作的问题，本发明提供了一种激光气体供应气瓶在线监测和安全互锁方法，本发明通过将气柜系统中气瓶气体余量数据上传给远程监测系统进行在线监测，并对工作人员发出预警/报警信息，防止因气瓶未及时更换导致激光器无法正常工作，同时节约人力。

本发明通过下述技术方案实现：

激光气体供应气瓶在线监测和安全互锁方法，包括：

实时获取气瓶气体余量检测数据；

对获取的气体余量检测数据进行分析处理，并根据处理结果进行报警和/或安全联锁控制。

优选的，本发明的实时获取气瓶气体余量检测数据步骤具体为：

实时获取气柜系统中通过压力传感器检测到的气瓶中气体压力值。

优选的，本发明的对获取的气体余量检测数据进行分析处理，并根据处理结果进行报警和/或安全联锁控制步骤具体包括：

将获取的气体余量检测数据与预设的阈值进行比较，如果判断得到至少存在一气瓶的气体余量不足，则进行报警并发送下单信号给自动下单系统下单。

优选的，本发明的对获取的气体余量检测数据进行分析处理，并根据处理结果进行报警和/或安全联锁控制步骤具体还包括：

如果气柜系统中所有气瓶的气体余量均不足，还发送互锁信号给联锁装置进行互锁。

优选的，本发明的气体余量不足的判断方法具体为：

如果气瓶的气体余量检测数据小于等于阈值，则判定该气瓶的气体余量不足。

第二方面，本发明提出了激光气体供应气瓶在线监测和安全互锁系统，包括网关和故障监测控制系统；

其中，所述网关与气柜系统内部气瓶传感器连接，所述气瓶传感器用于采集所述气瓶的气体余量数据，并将其传输给所述网关；

所述网关将其获取的气瓶的气体余量数据上传给所述故障监测控制系统；

所述故障监测控制系统对接收的数据进行分析处理，并根据处理结果发出控制信号给其他相关系统/装置。

优选的，本发明的故障监测控制系统对获取的数据进行分析处理具体包括：

将获取的数据与预设的阈值进行比较，如果获取的气体余量数据小于等于阈值，则判断该气瓶气体余量不足；

如果气柜系统中至少一气瓶的气体余量不足，则进行报警并发送下单信息给自动下单系统进行下单。