[发明专利]一种旋转靶材坯管矫直方法

说明书

本发明涉及靶材生产技术领域，尤其涉及一种旋转靶材坯管矫直方法。包括如下步骤：先对旋转靶材坯管进行检测，找出旋转靶材坯管的弯曲最大处；之后转动旋转靶材坯管，将弯曲最大处的弓起面朝上；然后对弓起处进行加热，使旋转靶材坯管产生变形；接着对步骤C中的加热部位进行冷却，使其回复到室温；然后再次对旋转靶材坯管进行检测，得到其弯曲情况，如果此时旋转靶材坯管的直度符合要求，则矫直完成，如果此时旋转靶材坯管的直度仍不符合要求，则重复步骤A‑D，直到其直度符合要求为止。本发明采用对坯管最大弯曲处的弓起部位进行加热后进行冷却的办法，来将坯管矫直，不需要大型的液压机，也不会导致低强度金属靶材在较大的压力下发生变形。

技术领域

本发明涉及靶材生产技术领域，尤其涉及一种旋转靶材坯管矫直方法。

背景技术

旋转靶材呈管状，LOW-E玻璃行业用的旋转靶材，一般内径125毫米，外径155毫米左右，长度3米-4米。其中金属旋转靶材一般用以下两种方法制成：第一种方法，对于高强度金属，将金属熔化铸锭，之后在高温下将铸锭挤压成管状并冷却，成为坯管，然后将坯管切断成需要的长度，再对两个端口进行机加工，并对坯管的外圆进行车削加工，得到成品靶材，此种方法靶材生产厂家一般没有相应的设备，坯管采用外协生产，之后再对坯管进行机加工；第二种方法，对于低强度金属，将金属熔化并浇注在不锈钢背管外部冷却成型，得到坯管，然后将坯管切断成需要的长度，再对两个端口进行机加工，并对坯管的外圆进行车削加工，得到成品靶材。

对于第一种方法，由于长度较长，挤压得到的坯管会有一定的弯曲，并且壁厚不均匀(在圆周方向上一侧薄一点，一侧厚一点，但是一般来说，壁厚薄的一侧整个坯管长度方向上这一侧都薄，不过越靠近坯管两端薄的越少，越靠近最大弯曲处薄的越多，壁厚厚的一侧整个坯管长度方向上这一侧都厚，不过越靠近坯管两端厚的越少，越靠近最大弯曲处厚的越多，即在坯管的两端壁厚是接近的)，虽然挤压后进行了初步的矫直，但是仍然有最大可达5毫米的弯曲，而为了节约成本，坯管外径一般只留有3毫米的余量。对于第二种方法，由于不锈钢背管较薄(壁厚为4毫米)而长度较长，经铸造得到的坯管也会出现最大可达5毫米的弯曲，并且壁厚不均匀，受成本和实际条件的限制，坯管外径一般也只留有3毫米的余量。因此，在车削加工外圆前，必须对坯管进行矫直，以使得坯管的外圆柱面的每个点都能被车加工到，以去掉外部的氧化皮和使跳动度达到要求。

对于这种尺寸的坯管，如果要用常规的办法进行矫直，则需要大型的液压机，将弯曲处压直，而一般的靶材生产厂家不会配备此种大型的液压机。并且低强度金属靶材在较大的压力下会发生变形，导致受压的位置不圆且壁厚变薄。

发明内容

本发明所要解决的技术问题，是针对上述存在的技术不足，提供了一种旋转靶材坯管矫直方法，采用对坯管最大弯曲处的弓起部位进行加热后进行冷却的办法，来将坯管矫直，不需要大型的液压机，也不会导致低强度金属靶材在较大的压力下发生变形。

按照本发明所采用的技术方案，一种旋转靶材坯管矫直方法，包括以下步骤：

A、对旋转靶材坯管进行检测，找出旋转靶材坯管的弯曲最大处；

B、转动旋转靶材坯管，将弯曲最大处的弓起面朝上；

C、对弓起处进行加热，使旋转靶材坯管产生变形；

D、对步骤C中的加热部位进行冷却，使其回复到室温；

E、再次对旋转靶材坯管进行检测，得到其弯曲情况，如果此时旋转靶材坯管的直度符合要求，则矫直完成，如果此时旋转靶材坯管的直度仍不符合要求，则重复步骤A-D，直到其直度符合要求为止。

进一步优化本技术方案，在所述步骤A中，用车床来检测旋转靶材坯管的弯曲最大处，其具体过程是分别用车床的卡盘和尾座固定住旋转靶材坯管的两端，之后转动旋转靶材坯管用百分表找出旋转靶材坯管的弯曲最大处。