[发明专利]一种存算一体化的叠层铁电隧道结在审
| 申请号： | 202111337233.7 | 申请日： | 2021-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN114068809A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 李智强;商尚炀;夏奕东;殷江 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 江苏法德东恒律师事务所 32305 | 代理人： | 李媛媛 |
| 地址： | 210046 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 一体化 叠层铁电 隧道 | ||
【权利要求书】：
1.一种存算一体化的叠层铁电隧道结，其特征在于，该叠层铁电隧道结自下往上的结构为：第一层为半导体衬底，用作底电极；第二层为铁电体；第三层为金属或半导体，用作中间电极；第四层为铁电体；第五层为介电体；第六层为金属，用作顶电极；所述底电极与顶电极的材料不同，或者两者材料相同但厚度不同，或者两者材料与厚度均不同。
2.根据权利要求1所述的一种存算一体化的叠层铁电隧道结，其特征在于，所述第二层的材料为BaTiO3、Zr:HfO2或BiFeO3，厚度为1～5nm。
3.根据权利要求1所述的一种存算一体化的叠层铁电隧道结，其特征在于，所述第三层的厚度为10～30nm。
4.根据权利要求1所述的一种存算一体化的叠层铁电隧道结，其特征在于，所述第四层的材料为BaTiO3、Zr:HfO2或BiFeO3，厚度为1～5nm。
5.根据权利要求1所述的一种存算一体化的叠层铁电隧道结，其特征在于，所述第五层的厚度为1～3nm。
6.根据权利要求1所述的一种存算一体化的叠层铁电隧道结，其特征在于，所述第六层的厚度为30～50nm。
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