[发明专利]一种大型菲涅尔平板模具的制作方法在审
申请号: | 202111285908.8 | 申请日: | 2021-11-02 |
公开(公告)号: | CN114012944A | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
发明(设计)人: | 廖巧生;李栋 | 申请(专利权)人: | 广西佳视微电子科技有限公司 |
主分类号: | B29C33/42 | 分类号: | B29C33/42;B29C33/38;B23P15/24;B23K26/362;B29L11/00 |
代理公司: | 南宁智卓专利代理事务所(普通合伙) 45129 | 代理人: | 谭月萍 |
地址: | 530000 广西壮族自治区南宁市高新区总*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 大型 菲涅尔 平板 模具 制作方法 | ||
1.一种大型菲涅尔平板模具的制作方法,其特征在于:包括以下步骤:
(1)选用一块硬度高的板材,板材的耐温大于100℃,然后对板材进行粗抛光和精细抛光,使板材的抛光面最高和最低的厚度差小于5um;
(2)在板材的抛光面上镀一层金属锌膜;
(3)利用激光器,将等能量密度的激光光斑通过扩束系统放大,并送入线状光澜,得到线性激光束,将线性激光束送入能量调光器,使线性激光束的线性输出能量的强度分布与一条菲涅尔纹理的宽度相对应;
(4)将步骤3经过能量调光器调节的线性激光束照射在金属锌膜上,金属锌膜上蚀刻完成后,在镀锌膜表面上形成一个菲涅尔纹理轮廓;
(5)利用数控机床控制线性激光束移动,将线性激光束在金属锌膜上沿着纹理的环形走向刻画出整条菲涅尔线,即可完成一条菲涅尔线的制作;
(6)重复步骤(3)、(4)和(5),可在抛光面上获得连续的菲涅尔环状纹理结构,至此完成菲涅尔纹理雕刻;
(7)完成步骤(6)后,在金属锌膜上,再镀一层铬膜层,完成菲涅尔平板模具的制作。
2.根据权利要求1所述的一种大型菲涅尔平板模具的制作方法,其特征在于:所述板材为不锈钢板或玻璃板。
3.根据权利要求1所述的一种大型菲涅尔平板模具的制作方法,其特征在于:所述金属锌膜的厚度为60um~100um。
4.根据权利要求1所述的一种大型菲涅尔平板模具的制作方法,其特征在于:步骤(1)中镀金属锌膜的方法为真空热蒸镀、电子束蒸镀、磁控溅射或化学气相沉积中的一种。
5.根据权利要求1所述的一种大型菲涅尔平板模具的制作方法,其特征在于:步骤(3)中的线状光澜的缝的长度与一条菲涅尔透镜纹理的宽度相等。
6.根据权利要求1所述的一种大型菲涅尔平板模具的制作方法,其特征在于:步骤(7)中所述铬膜层的厚度为0.05um~0.5um。
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