[发明专利]一种镜片弹性支撑装置

说明书

本发明提供一种镜片弹性支撑装置，包括：镜框、刚性支撑、弹性支撑、弹性压块。镜框开有一圆孔，底部有一台阶面，三个刚性支撑均匀安装在镜框底部台阶面上，每两个刚性支撑之间均匀地安放5个弹性支撑；在镜框顶面上设计有三个台阶，分别作为第一弹性压块、第二弹性压块、第三弹性压块的安装位置，三个位置分别位于三个刚性支撑的对面。采用这样的支撑结构，可以保证每个弹性支撑点及刚性支撑点与镜片充分接触，释缓镜片内部的重力变形，并减小顶部压紧过程中镜片的变形，保证镜片的面形，提高成像质量。

技术领域

本发明具体涉及一种镜片弹性支撑装置，可用于光刻机中物镜镜片的安装与调试，也可用于生产中工件的安装检测与调试。

背景技术

随着大规模集成电路的发展，高精度的投影光刻机需求日益增加。对于高精度的投影光刻机，物镜镜片面形的细微变化都会对像质产生不良影响。物镜镜片安装在镜框内，由于加工能力的限制，镜框上与镜片接触的面无法被加工到完全平整，这会导致镜片有部分悬空。在物镜的使用过程中，镜片表面会在重力作用下发生变形，导致物镜系统像质下降。因此，需要对镜片的重力进行卸载，保证镜片受力均匀，释缓镜片的重力变形，保证镜片的面形，提高成像质量。此外，在压紧镜片的过程中，由于外力作用产生的镜片变形同样会导致成像质量下降，需要尽可能减小外力对镜片面形的影响。

发明内容

本发明的目的在于提供一种镜片弹性支撑装置，避免镜片在长期使用过程中在重力作用下发生的变形，保证镜片受力均匀，保证镜片面形，保证物镜成像质量。

本发明采用的技术方案为：

一种镜片弹性支撑装置，该装置包括镜框(1)、第一刚性支撑(2)、第二刚性支撑(3)、第三刚性支撑(4)、第一弹性支撑(5)、第二至第十五弹性支撑(6-19)、第一弹性压块(20)、第二弹性压块(21)、第三弹性压块(22)、镜片(200)；所述镜框(1)中部开有一圆孔(300)，三个所述刚性支撑均匀安装在镜框底面(400)上，每两个刚性支撑之间均匀地安放5个所述弹性支撑，即在第一刚性支撑(2)和第二刚性支撑(3)之间安装有第一弹性支撑(5)、第二弹性支撑(6)、第三弹性支撑(7)、第四弹性支撑(8)、第五弹性支撑(9)；在第二刚性支撑(3)和第三刚性支撑(4)之间安装有第六弹性支撑(10)、第七弹性支撑(11)、第八弹性支撑(12)、第九弹性支撑(13)、第十弹性支撑(14)；在第三刚性支撑(4)和第一刚性支撑(2)之间安装有第十一弹性支撑(15)、第十二弹性支撑(16)、第十三弹性支撑(17)、第十四弹性支撑(18)、第十五弹性支撑(19)；镜片(200)安装在所述圆孔(300)内，且位于三个所述刚性支撑上，所述弹性支撑安装在镜片(200)下方的镜框底面(400)上，使第一弹性支撑(5)到第十五弹性支撑(19)上的支撑钉可从镜片(200)的下面顶住镜片(200)，对镜片(200)进行向上的支撑；在镜框顶面(500)上设置有三个台阶，三个台阶位置分别位于三个刚性支撑的对面，所述三个台阶的台阶面分别为第一台阶面(A)、第二台阶面(B)、第三台阶面(C)，分别用于安装第一弹性压块(20)、第二弹性压块(21)、第三弹性压块(22)；所述弹性压块上设置有铰链(600)。

进一步的，所述弹性压块上的铰链(600)采用柔性铰链式结构。

进一步的，每个所述弹性支撑由弹性片和支撑钉构成，所述弹性片由QBe2制成，采用“山”字形结构，弹性片上方铆接支撑钉。

进一步的，镜框底面设有台阶面，所述刚性支撑及弹性支撑均安装在该台阶面上。

进一步的，铰链(600)是在一个厚度为2mm的薄片的上下表面上切出两个半圆形缺口而构成，通过铰链(600)的弹性变形压紧镜片(200)。

本发明的原理是：本装置运用了弹性原理，下方弹性支撑采用“山”字形结构，保证镜片在任何状态下都有弹性支撑点对其起支撑作用，以对镜片重力进行卸载。上方压块采用柔性铰链结构，使压块在压紧镜片的同时保证压力不至于过大。