[发明专利]一种支撑骨架/粘性剂复合结构辅助转移石墨烯方法在审
| 申请号: | 202111284794.5 | 申请日: | 2021-11-01 |
| 公开(公告)号: | CN113979431A | 公开(公告)日: | 2022-01-28 |
| 发明(设计)人: | 李雪松;郭晓蒙;青芳竹 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
| 主分类号: | C01B32/194 | 分类号: | C01B32/194 |
| 代理公司: | 北京正华智诚专利代理事务所(普通合伙) 11870 | 代理人: | 杨浩林 |
| 地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 支撑 骨架 粘性 复合 结构 辅助 转移 石墨 方法 | ||
1.一种支撑骨架/粘性剂复合结构辅助转移石墨烯方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤(1):在生长基底/石墨烯的石墨烯一面铺放粘性剂并加热使其熔化,室温冷却,制得生长基底/石墨烯/粘性剂复合结构;
步骤(2):将所述步骤(1)所得的生长基底/石墨烯/粘性剂复合结构的粘性剂一面与支撑骨架进行贴合,加热,冷却,制得生长基底/石墨烯/粘性剂/支撑骨架复合结构;
步骤(3):使用化学刻蚀的方法将所述步骤(2)所得的生长基底/石墨烯/粘性剂/支撑骨架复合结构中的生长基底去除,制得石墨烯/粘性剂/支撑骨架复合结构;
步骤(4):将所述步骤(3)所得的石墨烯/粘性剂/支撑骨架复合结构进行冲洗处理后,将石墨烯/粘性剂/支撑骨架复合结构中的石墨烯一面与目标基底贴合,一次干燥后去除支撑骨架,二次干燥,制得目标衬底/石墨烯/粘性剂复合结构;
步骤(5):使用有机溶剂清洗去除所述步骤(4)所得的目标衬底/石墨烯/粘性剂复合结构中的粘性剂,制得目标衬底/石墨烯结合体,清洗干燥完成转移。
2.如权利要求1所述的支撑骨架/粘性剂复合结构辅助转移石墨烯方法,其特征在于,所述支撑骨架为网状结构。
3.如权利要求1所述的支撑骨架/粘性剂复合结构辅助转移石墨烯方法,其特征在于,所述粘性剂为易溶性粘结剂。
4.如权利要求1所述的支撑骨架/粘性剂复合结构辅助转移石墨烯方法,其特征在于,所述生长基底为金属基底;所述金属基底包括:Cu、Pt、Ni、Fe、Ru、Co、Rh、Ir、Pd、Au、Co-Ni、Au-Ni、Ni-Mo或不锈钢。
5.如权利要求1所述的支撑骨架/粘性剂复合结构辅助转移石墨烯方法,其特征在于,所述目标衬底包括:金属基片、半导体基片、氧化物基片、聚合物基片或表面具有微纳米尺度结构的功能性衬底。
6.如权利要求1所述的支撑骨架/粘性剂复合结构辅助转移石墨烯方法,其特征在于,所述步骤(3)中使用化学刻蚀的方法去除步骤(2)所得的生长基底/石墨烯/粘性剂/支撑骨架复合结构中的生长基底的具体过程为:将步骤(2)所得的生长基底/石墨烯/粘性剂/支撑骨架复合结构浮于含有质量分数为4~6%氯化氢的三氯化铁刻蚀液中,10~15min后取出即可。
7.如权利要求1所述的支撑骨架/粘性剂复合结构辅助转移石墨烯方法,其特征在于,所述步骤(5)中有机溶剂包括:正己烷、正庚烷、甲苯、二甲苯、石油醚、汽油、煤油、二氯化碳或乙酰。
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