[发明专利]单探测器的红外干涉检测装置及其设计方法

权利要求书

1.一种单探测器的红外干涉检测装置，包括准直光路、对点成像光路和干涉成像光路，其特征在于：还包括第二45°分光镜(6)和挡板(16)，通过反射镜、分光镜进行光路折叠，引入挡板(16)切换对点成像和干涉成像两种模式，实现通过一个探测器形成对点成像光路和干涉成像光路。

2.根据权利要求1所述的单探测器的红外干涉检测装置，其特征在于：所述准直光路包括激光器(1)，以及沿激光器(1)输出方向依次设置的第一45°分光镜(2)、准直镜(3)、标准镜(4)和待测镜(5)；激光器(1)发出激光光束，进第一45°分光镜(2)反射后，依次入射至准直镜(3)、标准镜(4)，在标准镜(4)的后表面反射形成参考光束，透过标准镜(4)的光束经过待测镜(5)反射形成测试光束；标准镜(4)和待测镜(5)形成干涉腔；沿着测试光束传播方向，测试光束依次经标准镜(4)、准直镜(3)、第一45°分光镜(2)和第二45°分光镜(6)，光束在经过第二45°分光镜(6)后分为透射光与反射光；透射光进入对点成像光路，反射光进入干涉成像测试光路系统。

3.根据权利要求2所述的单探测器的红外干涉检测装置，其特征在于：干涉成像光路包括沿测试光束的反射光传播方向依次设置的针孔(7)、第三45°分光镜(8)、成像镜组(9)、第三45°反射镜(10)和红外探测器(11)，进入干涉成像测试光路系统的反射光经针孔(7)汇聚后，再经第三45°反射镜(8)反射进入成像镜组(9)，经成像镜组(9)准直后形成为平行光，经第三45°反射镜(10)反射被探测器(11)接收。

4.根据权利要求3所述的单探测器的红外干涉检测装置，其特征在于：对点成像光路包括沿测试光束的透射光传播方向依次设置的毛玻璃(12)、对点镜(13)、第一反射镜(14)、第二反射镜(15)，其中挡板(16)设置在第一反射镜(14)和第二反射镜(15)之间，在挡板(16)未遮挡第二反射镜(15)时，测试光束的透射光依次经过毛玻璃(12)、对点镜(13)、第一反射镜(14)、第二反射镜(15)，经第二反射镜(15)反射入干涉成像系统的第三45°分光镜(8)，对点成像光路用于辅助粗调整标准镜(4)和待测镜(5)的位姿，使得所述红外干涉检测装置能够在干涉成像光路模式下精确调整标准镜(4)和待测镜(5)的位姿，继而在红外探测器(11)上获取干涉图。

5.根据权利要求4所述的单探测器的红外干涉检测装置，其特征在于：当挡板(16)遮挡第二反射镜(15)时，红外探测器(11)无法接收测试光束的透射光，仅接收测试光束的反射光。