[发明专利]一种用于钛合金的Cr2

权利要求书

1.一种用于钛合金的Cr₂O₃/Al₂O₃梯度抗氧化涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1，对钛合金基体进行打磨，再进行抛光处理；

步骤2，将经步骤1得到的钛合金基体依次使用无水乙醇和去离子水进行超声清洗；

步骤3，将经步骤2得到的钛合金基体在鼓风干燥箱中进行烘干处理；

步骤4，将经步骤3得到的基体置于磁控溅射仪的样品台上，在靶基座上装上Cr靶，采用直流溅射方式在钛合金表面镀覆Cr金属层；

步骤5，将经步骤4制备的钛合金基板取出，在表面均匀铺覆一层铝箔；

步骤6，将经步骤5制备的钛合金基板置于真空炉中，在高温下保温使其完全熔融，均匀涂覆在钛合金基板表面；

步骤7，将步骤6中得到的钛合金基板在空气中进行氧化处理，得到致密的Cr₂O₃/Al₂O₃涂层。

2.根据权利要求1所述的一种用于钛合金的Cr₂O₃/Al₂O₃梯度抗氧化涂层的制备方法，其特征在于，步骤1中依次进行500#，1000#，1500#，2000#砂纸打磨，并用研磨膏进行抛光处理。

3.根据权利要求1所述的一种用于钛合金的Cr₂O₃/Al₂O₃梯度抗氧化涂层的制备方法，其特征在于，步骤2中，超声清洗时间为10～30min。

4.根据权利要求1所述的一种用于钛合金的Cr₂O₃/Al₂O₃梯度抗氧化涂层的制备方法，其特征在于，步骤3中，钛合金基板在鼓风干燥箱中的烘干温度为60～80℃，烘干时间为60～120min。

5.根据权利要求1所述的一种用于钛合金的Cr₂O₃/Al₂O₃梯度抗氧化涂层的制备方法，其特征在于，步骤4中，Cr靶材的纯度为99.95％，本底真空度约为3×10^-4Pa，沉积温度为300～400℃，腔体气压为10^-3～10^-2Pa，偏压为100～300V，氩气流量为20～30mL/min，持续溅射时间为60～180min得到Cr镀层。

6.根据权利要求1所述的一种用于钛合金的Cr₂O₃/Al₂O₃梯度抗氧化涂层的制备方法，其特征在于，步骤5中，铺覆的铝箔的厚度为10～100μm。

7.根据权利要求1所述的一种用于钛合金的Cr₂O₃/Al₂O₃梯度抗氧化涂层的制备方法，其特征在于，步骤6，高温热处理的温度为800～1000℃，保温时间为2～4h。

8.根据权利要求1所述的一种用于钛合金的Cr₂O₃/Al₂O₃梯度抗氧化涂层的制备方法，其特征在于，步骤7，在空气中氧化的温度为300～500℃，时间为1～2h，得到致密的Cr₂O₃/Al₂O₃涂层。

9.一种用于钛合金的Cr₂O₃/Al₂O₃梯度抗氧化涂层，其特征在于，采用权利要求1至8中任一项所述的制备方法制备得到。