[发明专利]一种聚合物及含其的193nm光刻用顶涂层膜的制备方法

权利要求书

1.一种聚合物，其特征在于，所述聚合物的制备方法包括下列步骤：将式A所示的单体、式B所示的单体和式L所示的单体聚合；

2.如权利要求1所述的聚合物，其特征在于，所述聚合物的制备方法中，以重量份数计，所述式A所示的单体的重量份数为2-10份；

和/或，所述聚合物的制备方法中，以重量份数计，所述式B所示的单体的重量份数为1-6份；

和/或，所述聚合物的制备方法中，以重量份数计，所述式L所示的单体的重量份数为1-4份；

和/或，所述聚合物的制备方法中，所述聚合物的重均分子量为8000-12000。

3.如权利要求2所述的聚合物，其特征在于，所述聚合物的制备方法中，以重量份数计，所述式A所示的单体的重量份数为2份、4份、5份、8份或10份；

和/或，所述聚合物的制备方法中，以重量份数计，所述式B所示的单体的重量份数为1份、1.5份、2份、3.5份或6份；

和/或，所述聚合物的制备方法中，以重量份数，所述式L所示的单体的重量份数为1份、1.5份、2.5份或4份；

和/或，所述聚合物的制备方法中，所述聚合物的重均分子量为8848、9674、9933、10212或11182。

4.如权利要求1所述的聚合物，其特征在于，所述聚合物的制备方法中，

以重量份数计，所述式A所示的单体的重量份数为2份，所述式B所示的单体的重量份数为1.5份，所述式L所示的单体的重量份数为1份，制得聚合物P1；

或者，以重量份数计，所述式A所示的单体的重量份数为4份，所述式B所示的单体的重量份数为1份，所述式L所示的单体的重量份数为1.5份；制得聚合物P2；

或者，以重量份数计，所述式A所示的单体的重量份数为5份，所述式B所示的单体的重量份数为2份，所述式L所示的单体的重量份数为1份；制得聚合物P3；

或者，以重量份数计，所述式A所示的单体的重量份数为8份，所述式B所示的单体的重量份数为3.5份，所述式L所示的单体的重量份数为2.5份；制得聚合物P4；

或者，以重量份数计，所述式A所示的单体的重量份数为10份，所述式B所示的单体的重量份数为6份，所述式L所示的单体的重量份数为4份；制得聚合物P5。

5.如权利要求4所述的聚合物，其特征在于，所述聚合物P1的重均分子量为11182；

所述聚合物P2的重均分子量为10242；

所述聚合物P3的重均分子量为8848；

所述聚合物P4的重均分子量为9674；

所述聚合物P5的重均分子量为9933；

和/或，所述聚合物P1至P5的制备方法中，在偶氮二异丁腈0.1份和甲基乙基酮15份的情况下进行。

6.如权利要求1～5任一项所述的聚合物，其特征在于，所述聚合物的制备方法包括以下步骤：有机溶剂中，将所述的式A所示的单体、所述式B所示的单体、所述式L所示的单体在引发剂的作用下进行聚合反应，得到所述聚合物。

7.如权利要求6所述的聚合物，其特征在于，所述聚合物的制备方法中，所述有机溶剂为酮类溶剂；

和/或，所述聚合物的制备方法中，所述引发剂为偶氮类引发剂；

和/或，所述聚合物的制备方法中，以重量份数计，所述有机溶剂的重量份数为10-20份；

和/或，所述聚合物的制备方法中，以重量份数计，所述引发剂的重量份数为0.05-0.3份；

和/或，所述聚合物的制备方法中，所述聚合反应为在惰性气体下进行；

和/或，所述聚合物的制备方法中，所述聚合反应的温度为60-90℃；

和/或，所述聚合物的制备方法中，所述聚合反应的时间为8-20小时；

和/或，所述聚合物的制备方法中，所述聚合反应后还包括后处理步骤。