[发明专利]一种可循环的中空悬臂探针前端加载和清洁方法

权利要求书

1.一种可循环的中空悬臂探针前端加载和清洁方法，其特征在于：包括以下步骤：

将经过过滤和脱气处理待操作液体转移到透明衬底上，将校准后的中空悬臂探针尖端浸没待操作液体后，通过压力控制器施加负压力脉冲完成液体的前端加载；

所述中空悬臂探针包括悬臂梁探针和内部微通道；所述悬臂梁探针前端开口，后端接压力控制器；所述内部微通道尺度为微米级；

所述过滤采用低于0.2μm注射器过滤器，去除待操作液体中的固体颗粒，所述压力控制器压力控制范围为-800mbar~1000mbar；

完成试验后，压力控制器施加压力脉冲去中空悬臂探针中残余的待操作液体，将中空悬臂探针浸入清洗液中浸泡后用超纯水清洗中空悬臂探针表面，再将中空悬臂探针依次浸入次氯酸钠溶液，乙醇水溶液，浸入期间交替进行加载和释放操作完成对探针微通道的内部清洗，最后将清洗干净后的中空悬臂探针在湿润、密封和冷藏的环境保存；清洁过程的加载操作为施加负压力5~10秒，释放操作为正压力5~10秒，持续5~8个周期。

2.根据权利要求1所述的一种可循环的中空悬臂探针前端加载和清洁方法，其特征在于：所述脱气采用真空脱气法，去除溶解在待操作液体中的气体。

3.根据权利要求1所述的一种可循环的中空悬臂探针前端加载和清洁方法，其特征在于：液体转移采用微量移液管将已完成过滤和脱气处理的液体10~50 μL的体积应用于透明玻璃衬底上。

4.根据权利要求1所述的一种可循环的中空悬臂探针前端加载和清洁方法，其特征在于：所述校准为对安装好的中空悬臂探针依次进行激光对准、弹簧常数、挠度补偿和挠度的校准。

5.根据权利要求1所述的一种可循环的中空悬臂探针前端加载和清洁方法，其特征在于：所述清洗液为3~6% NaClO溶液或超纯水。

6.根据权利要求1所述的一种可循环的中空悬臂探针前端加载和清洁方法，其特征在于：湿润保存为将中空悬臂探针浸没在超纯水或磷酸盐缓冲溶液。