[发明专利]一种高熵钙钛矿氧化物薄膜材料及其制备方法

权利要求书

1.一种高熵钙钛矿氧化物薄膜材料的制备方法，其特征在于，包括：

步骤S1，制备多晶La(Cr_0.2Mn_0.2Fe_0.2Co_0.2Ni_0.2)O₃靶材：将La₂O₃、NiO、MnO₂、Fe₂O₃、Co₃O₄和Cr₂O₃粉末混合，烧结后得到La(Cr_0.2Mn_0.2Fe_0.2Co_0.2Ni_0.2)O₃靶材；

步骤S2，薄膜制备：采用La(Cr_0.2Mn_0.2Fe_0.2Co_0.2Ni_0.2)O₃靶材，通过脉冲激光沉积的方法在衬底上进行薄膜沉积，得到高熵钙钛矿氧化物薄膜材料。

2.根据权利要求1所述的一种高熵钙钛矿氧化物薄膜材料的制备方法，其特征在于，步骤S1中，将La₂O₃、NiO、MnO₂、Fe₂O₃、Co₃O₄和Cr₂O₃按照摩尔比混合均匀，通过烧结得到La(Cr_0.2Mn_0.2Fe_0.2Co_0.2Ni_0.2)O₃陶瓷靶材。

3.根据权利要求1所述的一种高熵钙钛矿氧化物薄膜材料的制备方法，其特征在于，步骤S1中La₂O₃、NiO、MnO₂、Fe₂O₃、Co₃O₄和Cr₂O₃的纯度为99.99％。

4.根据权利要求1所述的一种高熵钙钛矿氧化物薄膜材料的制备方法，其特征在于，步骤S2中所述脉冲激光沉积的参数为：温度600-650℃、激光能量密度为0.6-1.0J/cm²，氧压为50-150mTorr，脉冲频率为3-7Hz，沉积结束后在75Torr氧压下冷却至室温。

5.根据权利要求1所述的一种高熵钙钛矿氧化物薄膜材料的制备方法，其特征在于，步骤S2中所述衬底选自钙钛矿结构的LaAlO₃、钙钛矿结构的SrTiO₃、尖晶石结构的MgAl₂O₄或岩盐结构的MgO。

6.一种高熵钙钛矿氧化物薄膜材料，其特征在于，通过前述权利要求1-5任一项所述的制备方法获得。

7.一种新型的磁性材料，其特征在于，所述磁性材料为La(Cr_0.2Mn_0.2Fe_0.2Co_0.2Ni_0.2)O₃(L5BO)。