[发明专利]一种石英环火抛光装置及方法

说明书

本发明公开了一种石英环火抛光装置及方法，包括：夹持机构，用于装夹石英管一端并使其沿轴线转动；托举机构，托举机构设置在石英管远离夹持机构的一端，用于托举石英管并保证石英管沿轴向延伸；机构，机构滑动设置在夹持机构和托举机构之间，机构上设有供石英管通过的第一孔。本发明保证石英管沿直线延伸；对石英管进行有效；监测孔内两端压力控制速度，避免损坏产品的同时保证的高效；适配不同管径和长度的石英管；操作简单，效果稳定。

技术领域

本发明涉及石英加工技术领域，尤其涉及一种石英环火抛光装置及方法。

背景技术

随着IC行业的高速发展，半导体设备制造行业随之日渐成熟，石英玻璃产品作为半导体设备中的重要组成产品，需求也与日俱增。因石英玻璃具有高硬度、高纯度、热膨胀系数低和电绝缘等一系列特性，故其加工工艺要求十分严苛。石英产品常常需要通过火抛光提升其表面质量，现有技术通常为人工通过手持焊枪，焊枪喷出的火焰对产品表面进行火抛光，手工操作费时费力，效率低，不利于产品的批量生产，对人员技能水平提出较高的要求，容易出现由于产品抛光面抛光不均匀而导致透光率、表面粗糙度不一致，甚至出现产品变形的问题，影响产品质量；现有技术中也有通过机械装置进行抛光，但由于环类产品需要抛光的面较多，包括上下表面和内外表面，通常需要多步抛光，加工效率低，抛光效果差。

例如，一种在中国专利文献上公开的“一种石英环火抛光装置”，其申请号CN201922162598.5，其包括操作台架，操作台架包括支架和操作台组件，操作台组件设置于支架上，操作台组件包括载物台和抛光枪架，待加工的石英环固定于载物台上，抛光枪架设置于载物台的一侧；抛光枪架的底端固定于载物台上、顶端设有抛光枪头，抛光枪头的喷射口朝向载物台的台面；载物台设置于一旋转台上，旋转台经由电机驱动后转动时带动载物台旋转。其不足之处是，载物台通过支撑柱支撑石英环，旋转时支撑柱和石英环易出现相对滑动，影响固定，影响产品质量；产品内表面和下表面无法进行抛光，需要手动补充抛光或翻面进行二次抛光，加工效率低。

发明内容

本发明是为了克服现有技术抛光效率低、效果差的问题，提供一种石英环火抛光装置及方法，操作简单，加工效率高，抛光效果稳定好。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种石英环火抛光装置，包括：

旋转台，用于带动石英环同轴转动，所述旋转台上设有同轴的圆弧形通孔；

若干夹持机构，用于将石英环同轴固定在旋转台上，所述夹持机构上设有滑块，所述滑块沿径向滑动设置在旋转台上；

上焊枪，用于对石英环的上表面及内外表面进行火抛光；

下焊枪，所述下焊枪设置在旋转台下方，用于通过所述通孔对石英环下表面进行火抛光。

本发明的特点在于上焊枪上设置多个枪口分别对准石英环的上表面及内外表面，下焊枪枪口对准石英环下表面，其中，下焊枪喷出的火焰穿过旋转台弧形的通孔作用于石英环下表面，当旋转台带动石英环转动时，一次性实现石英环全表面均得到抛光；若干夹持机构沿周向排列，优选为四个夹持机构间隔90°均布在旋转台上，稳定可靠，滑块用于固定石英环，通过调节滑块径向位置适配不同直径、尺寸的石英环。

作为优选，所述滑块上设有用于支撑石英环底面的支撑面和用于与石英环内表面贴合的圆弧面。

支撑面对石英环竖直方向进行限位，圆弧面用于抵接在石英环内壁，通过固定滑块张紧石英环，对石英环水平方向进行限位。

作为优选，所述夹持机构还包括固定块，所述滑块和固定块之间螺纹连接有用于调节滑块径向位置的调节螺栓。

其中一种滑块的调节方式为通过手动转动螺栓调节滑块和固定块之间的间距，并通过拧紧螺栓张紧石英环。

作为优选，所述夹持机构还包括驱动滑块滑动的滑块驱动装置。