[发明专利]一种氧化镍-金-氧化锌同轴纳米阵列的制备方法及应用在审
申请号: | 202111190422.6 | 申请日: | 2021-10-13 |
公开(公告)号: | CN114015990A | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
发明(设计)人: | 徐春祥;董秀秀;王茹;石增良 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/02;C23C14/18;C23C14/58;G01N27/26;G01N27/30;B82Y15/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 曹坤 |
地址: | 211102 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氧化 氧化锌 同轴 纳米 阵列 制备 方法 应用 | ||
1.一种氧化镍-金-氧化锌同轴纳米线阵列的制备方法,其特征在于;具体制备步骤如下所述:
(1)、将预处理后的导电基底放入磁控溅射仪,通过机械泵和分子泵抽真空使腔体内真空度≤7.0×10-4Pa,再调节射频系统使氧化锌靶材启辉,先进行预溅射使靶材表面清洁,然后通入高纯氧气和高纯氩气,从而得到溅射有氧化锌种子层的基底;
(2)、配制等摩尔的醋酸锌和六次甲基四胺水溶液,将步骤(1)中所得的基底、醋酸锌和六次甲基四胺水溶液加入到水热反应釜中,再放入90-120℃的烘箱里反应4-10h,用超纯水冲洗,晾干或烘干,从而得到氧化锌纳米线阵列;
(3)、将得到的氧化锌纳米线阵列置于等离子体溅射仪中并在金靶下溅射,从而得到金-氧化锌纳米线阵列;
(4)、最后,将得到的金-氧化锌纳米线阵列置于磁控溅射仪进行氧化镍层的原位复合,从而最终得到氧化镍-金-氧化锌同轴纳米线阵列。
2.根据权利要求1所述的一种氧化镍-金-氧化锌同轴纳米线阵列的制备方法,其特征在于,在步骤(1)中,所述的导电基底为FTO导电玻璃;
所述的预处理后的导电基底是指:将未处理的导电基底依次在超纯水、丙酮、无水乙醇及超纯水中超声,再用超纯水洗净、晾干,从而得到预处理后的导电基底。
3.根据权利要求1所述的一种氧化镍-金-氧化锌同轴纳米线阵列的制备方法,其特征在于,在步骤(1)中,所述磁控溅射仪的射频功率为50-200W。
4.根据权利要求1所述的一种氧化镍-金-氧化锌同轴纳米线阵列的制备方法,其特征在于,在步骤(1)中,所述高纯氧气的气体流量为5-15sccm,所述高纯氩气的气体流量为40-100sccm,所述高纯氧气和高纯氩气的工作气压为1-3Pa。
5.根据权利要求1所述的一种氧化镍-金-氧化锌同轴纳米线阵列的制备方法,其特征在于,在步骤(1)中,所述得到的溅射氧化锌种子层的基底的厚度为10-30nm。
6.根据权利要求1所述的一种氧化镍-金-氧化锌同轴纳米线阵列的制备方法,其特征在于,在步骤(2)中,所述醋酸锌和六次甲基四胺的浓度为0.005-0.05mol/L。
7.根据权利要求1所述的一种氧化镍-金-氧化锌同轴纳米线阵列的制备方法,其特征在于,在步骤(3)中,所述等离子体溅射仪的溅射时间为45-120s。
8.根据权利要求1所述的一种氧化镍-金-氧化锌同轴纳米线阵列的制备方法,其特征在于,在步骤(4)中,所述磁控溅射仪的磁控溅射时间为1-20min。
9.一种同轴结构的纳米光电功能材料,其特征在于:由权利要求1-8所述的方法制备所得。
10.根据权利要求9所述的一种同轴结构的纳米光电功能材料在光电传感中的应用,其特征在于:所述应用具体如下所述:以修饰复合材料的导电基底为工作电极,以铂网、银/氯化银电极分别为对电极与参比电极,完成液体环境下的光电传感。
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