[发明专利]一种低成本高灵敏度湿度探测器

权利要求书

1.一种低成本高灵敏度湿度探测器，其特征在于，包括自旋极化层、隔离层、非磁材料层、吸湿膨胀颗粒、第一电极、第二电极，所述隔离层置于所述自旋极化层上，所述非磁材料层置于所述隔离层上，所述吸湿膨胀颗粒的个数为多个，所述吸湿膨胀颗粒置于所述非磁材料层上的中部，所述第一电极和所述第二电极分别置于所述非磁材料层上所述吸湿膨胀颗粒的两侧。

2.如权利要求1所述的低成本高灵敏度湿度探测器，其特征在于：所述吸湿膨胀颗粒部分地置于所述非磁材料层内。

3.如权利要求2所述的低成本高灵敏度湿度探测器，其特征在于：所述吸湿膨胀颗粒为长方体。

4.如权利要求3所述的低成本高灵敏度湿度探测器，其特征在于：所述长方体的一边沿所述非磁材料层的法线方向。

5.如权利要求4所述的低成本高灵敏度湿度探测器，其特征在于：所述长方体的长边垂直于所述非磁材料层的法线方向。

6.如权利要求1-5任一项所述的低成本高灵敏度湿度探测器，其特征在于：所述自旋极化层为拓扑绝缘体、狄拉克半金属、外尔半金属。

7.如权利要求6所述的低成本高灵敏度湿度探测器，其特征在于：所述隔离层为石墨烯、氧化铝、氧化镁。

8.如权利要求7所述的低成本高灵敏度湿度探测器，其特征在于：所述非磁材料层为铂。

9.如权利要求8所述的低成本高灵敏度湿度探测器，其特征在于：所述吸湿膨胀颗粒的材料为聚酰亚胺。

10.如权利要求9所述的低成本高灵敏度湿度探测器，其特征在于：所述第一电极和所述第二电极的材料为金、银、铜、铂。