[发明专利]六氟化硫气体分离回收装置

权利要求书

1.六氟化硫气体分离回收装置，其特征在于，所述装置包括回收过滤模块、分离模块、尾气分离模块、快速冷冻灌装装置(7)和气体纯度检测及传输模块(6)，

回收过滤模块，用于将混合气体抽出进行过滤，将过滤后的气体加压传递至分离模块；

分离模块，用于对过滤后的气体分离成六氟化硫气体和除六氟化硫气体以外的气体，除六氟化硫气体以外的气体进入尾气分离模块，六氟化硫气体进入气体纯度检测及传输模块(6)；

尾气分离模块，用于将除六氟化硫气体以外的气体进行分离，分离后气体分别排出；

气体纯度检测及传输模块(6)，用于检测六氟化硫气体的纯度，如果六氟化硫气体的纯度大于等于设定纯度，则将六氟化硫气体传送至快速冷冻灌装装置(7)，如果六氟化硫气体的纯度小于设定纯度，则将六氟化硫气体作为混合气体传送至回收过滤模块；

快速冷冻灌装装置(7)，用于将六氟化硫气体回收至钢瓶中；

快速冷冻灌装装置(7)包括一号压缩机(7-1)、电动阀(7-2)、换热器(7-3)、制冷机组(7-6)、密闭罐(7-4)、细铜管(7-5)、下罐体(7-7)、针型阀(7-8)、上罐体(7-9)、压力变送器(7-13)、手动阀(7-12)和钢瓶，

经电动阀(7-2)控制，一号压缩机(7-1)将压缩后的六氟化硫气体发送给换热器(7-3)，由换热器(7-3)对压缩后的六氟化硫气体进行初步降温，初步降温后的六氟化硫气体进入密闭罐(7-4)内，与制冷机组(7-6)的细铜管(7-5)进行热交换，使压缩后的六氟化硫气体进行再次降温，压缩为液态六氟化硫，液态六氟化硫经过下罐体(7-7)时，不易被液化的空气杂质经过针型阀(7-8)进入上罐体(7-9)，其余液态六氟化硫经手动阀(7-12)控制流入钢瓶进行收集。

2.根据权利要求1所述的六氟化硫气体分离回收装置，其特征在于，所述冷冻灌装装置(7)还包括排气阀(7-10)，

经排气阀(7-10)的控制，将上罐体(7-9)中不易被液化的空气杂质排出。

3.根据权利要求1所述的六氟化硫气体分离回收装置，其特征在于，所述冷冻灌装装置(7)还包括压力表(7-11)，

压力表(7-11)设置在手动阀(7-12)和压力变送器(7-13)之间的管道上。

4.根据权利要求1所述的六氟化硫气体分离回收装置，其特征在于，回收过滤模块包括一级过滤单元(1)、二号压缩机(2)和二级过滤单元(3)，

一级过滤单元(1)，用于对混合气体中的粉尘和固态颗粒进行过滤，过滤后的气体传送至二号压缩机(2)，

二号压缩机(2)，用于将过滤后的气体加压传递至二级过滤单元(3)，

二级过滤单元(3)，用于接收二号压缩机(2)输出的气体进行过滤，输出过滤后的气体。

5.根据权利要求4所述的六氟化硫气体分离回收装置，其特征在于，分离模块包括加热装置(4)和分离膜(5)，

加热装置(4)，用于对二级过滤单元(3)输出的过滤后的气体加热至设定温度后，传送至分离膜(5)；

分离膜(5)，用于对加热装置(4)输出的气体分离成六氟化硫气体和除六氟化硫气体以外的气体，除六氟化硫气体以外的气体进入尾气分离模块，六氟化硫气体进入气体纯度检测及传输模块(6)。

6.根据权利要求5所述的六氟化硫气体分离回收装置，其特征在于，尾气分离模块包括三号压缩机(6)和尾气分离膜(7)，

三号压缩机(6)，用于对分离膜(5)输出的气体增压，增压后的气体进入尾气分离膜(7)；

尾气分离膜(7)，用于对三号压缩机(6)输出的气体进行分离，分离后的气体分别排出。