[发明专利]一种透射式光开关、阵列透射式光开关及电子设备

说明书

本公开提供了一种透射式光开关、阵列透射式光开关及电子设备；其中，所述透射式光开关包括基底，驱动装置以及静电吸合装置；所述基底形成有透光区域；所述驱动装置的一端与所述基底连接，所述驱动装置悬置于所述基底上，所述驱动装置被构造为能够发生弯曲形变和展平；所述静电吸合装置包括第一静电电极和第二静电电极，所述第一静电电极位于所述基底上，且为透光材料，所述第二静电电极位于所述驱动装置上；在所述驱动装置展平的状态下，所述驱动装置能够通过所述第二静电电极静电吸合在所述第一静电电极上，以关闭所述透光区域。本公开的方案为光开关提供了一种新的驱动方式，能够明显降低驱动电压和功耗，同时降低了维持光开关关闭的能耗。

技术领域

本公开实施例涉及透射式光开关技术领域，更具体地，本公开涉及一种透射式光开关、阵列透射式光开关及电子设备。

背景技术

MEMS透射式光开关用于控制光线的通过率。因此，能够应用在很多的光学场景中。近年来，随着MEMS透射式光开关的应用，使得体积大幅减小的MEMS透射式光开关广泛的应用于智能窗户、智能照明、智能显示及光学探测等领域。

就现有技术而言，常见驱动MEMS透射式光开关的方式包括静电驱动和电热驱动两种。采用静电驱动时，目前所需的驱动电压较高，一般可高达50V～100V，而且静电驱动的方式有一个典型的特征即“吸合现象”，易导致像素吸合失效；同时，这是一种二元驱动方式，即非开即关，无法连续控光。采用电热驱动时，能够设置较大的遮光元件以形成较大的遮光区域；但是，电热驱动装置自身所占用的体积大，不利于MEMS透射式光开关的小型化，并且驱动电压和功耗较高。此外，难以精准控制遮光元件的位置，MEMS透射式光开关的通光率低。

发明内容

本公开的目的是提供一种透射式光开关、阵列透射式光开关及电子设备的新的技术方案。

第一方面，本公开提供了一种透射式光开关，其包括

基底，所述基底形成有透光区域；

驱动装置，所述驱动装置的一端与所述基底连接，所述驱动装置悬置于所述基底上，所述驱动装置被构造为能够发生弯曲形变和展平；以及

静电吸合装置，所述静电吸合装置包括第一静电电极和第二静电电极，所述第一静电电极位于所述基底上，且为透光材料，所述第二静电电极位于所述驱动装置上；

在所述驱动装置展平的状态下，所述驱动装置能够通过所述第二静电电极静电吸合在所述第一静电电极上，以关闭所述透光区域。

可选地，所述静电吸合装置还包括有绝缘介质层，在所述第一静电电极与所述第二静电电极静电吸合时，所述绝缘介质层位于所述第一静电电极和所述第二静电电极之间；

所述第一静电电极和所述第二静电电极均为导电材料。

可选地，所述绝缘介质层设置在所述第一静电电极上。

可选地，所述驱动装置朝向所述基底的表面上设置有多个凸起结构。

可选地，所述基底本身为透光材料；或者，

所述基底为不透光材料，在所述基底上开设有通道，所述通道形成所述透光区域。

可选地，所述驱动装置远离与所述基底相连的一端设置有向外侧延伸的遮光元件。

可选地，所述第一静电电极在第一方向上分割为多个独立的静电电极区域；

其中，所述第一方向是指与所述透光区域逐步关闭方向。

可选地，所述驱动装置为多层电热驱动结构或者压电薄膜结构。