[发明专利]一种微动台气浮支撑装置

权利要求书

1.一种微动台气浮支撑装置，其特征在于，包括基座、能够在所述基座上悬浮的气浮模块、以及位于所述气浮模块上的连接结构，所述气浮模块用于支撑所述连接结构，所述连接结构用于支撑微动台；

所述气浮模块包括外部框架、负压调节框架及负压调节板，所述负压调节框架设于所述外部框架的上端，所述负压调节板与所述负压调节框架的下端面贴合连接；所述负压调节框架通过若干个调平螺栓与所述外部框架相连接；

所述外部框架的外侧设有正压进气孔和负压进气孔，所述外部框架的内部设有与所述正压进气孔连通的正压气路、与所述负压进气孔连通的负压气路、以及与所述负压气路连通的负压排气腔，所述外部框架的下端设有与所述正压气路连通的正压排气孔集群；

所述外部框架的底部中间位置设有负压腔体，所述负压腔体的下端开口，所述负压腔体的上端设有通槽，所述负压调节板位于所述通槽处并与所述通槽之间密封，所述负压腔体的边缘还设有与所述负压排气腔连通的负压排气孔；

在所述气浮模块产生水平姿态误差时，通过微调所述调平螺栓能够调节所述负压调节框架的水平姿态，进而调节与所述负压调节框架贴合的所述负压调节板的水平姿态，调节所述负压调节板的水平姿态会改变负压气膜的分布情况并与正压气膜形成补充，进而调整气膜厚度达到调节所述气浮模块水平姿态的目的。

2.根据权利要求1所述的微动台气浮支撑装置，其特征在于，所述通槽呈十字形，所述负压调节板的形状与所述通槽的形状相吻合。

3.根据权利要求1所述的微动台气浮支撑装置，其特征在于，所述负压调节板与所述通槽之间通过密封圈密封。

4.根据权利要求1所述的微动台气浮支撑装置，其特征在于，还包括调平连接件，所述调平连接件分别与所述外部框架及所述负压调节框架连接。

5.根据权利要求4所述的微动台气浮支撑装置，其特征在于，所述调平连接件由片簧制成。

6.根据权利要求1所述的微动台气浮支撑装置，其特征在于，所述正压排气孔集群为疏松多孔结构。

7.根据权利要求1所述的微动台气浮支撑装置，其特征在于，所述负压调节框架的上端设有承重板。

8.根据权利要求1所述的微动台气浮支撑装置，其特征在于，所述正压进气孔和所述负压进气孔均设于所述外部框架的侧壁上。

9.根据权利要求1所述的微动台气浮支撑装置，其特征在于，所述外部框架为矩形，所述外部框架的四个角处分别设有一所述正压排气孔集群，所述外部框架的四个边的中部分别设有一所述负压排气腔，各所述负压排气腔的正下方均设有若干个负压排气孔。

10.根据权利要求1所述的微动台气浮支撑装置，其特征在于，所述外部框架均采用铝合金材料制成。