[发明专利]一种激光电解复合加工用光电液耦合传导管电极有效
| 申请号: | 202111109215.3 | 申请日: | 2021-09-22 |
| 公开(公告)号: | CN113843460B | 公开(公告)日: | 2023-05-16 |
| 发明(设计)人: | 李勇;刘国栋;佟浩;闫剑锋;姚尧 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
| 主分类号: | B23H5/06 | 分类号: | B23H5/06;B23H5/10;B23K26/06;B23K26/073 |
| 代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 罗岚 |
| 地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 激光 电解 复合 工用 光电 耦合 传导 电极 | ||
1.一种激光电解复合加工用光电液耦合传导管电极,其特征在于,所述光电液耦合传导管电极由透光基体、内侧反射包层、外侧反射包层、内壁导电层和端部导电层构成,所述透光基体为管状结构,所述透光基体的材料为石英玻璃,所述内侧反射包层和所述外侧反射包层分别位于透光基体的内、外壁面上,内反射包层与外反射包层的材料为低折射率掺杂剂掺杂的高纯度石英,所述内壁导电层位于所述内侧反射包层内壁上,所述端部导电层位于所述透光基体的端部,以形成导光、导电、导液且侧壁绝缘同步作用的复合加工用的管电极结构。
2.根据权利要求1所述的一种激光电解复合加工用光电液耦合传导管电极,其特征在于,所述透光基体一端面为激光导入端,另一端面为激光导出端,激光由所述透光基体经全反射传导至激光电解复合加工的加工区域。
3.根据权利要求2所述的一种激光电解复合加工用光电液耦合传导管电极,其特征在于,所述透光基体侧面靠近所述激光导入端的位置设置有导电连接孔,脉冲电源输出的电流通过所述导电连接孔连接至所述端部导电层和所述内壁导电层。
4.根据权利要求3所述的一种激光电解复合加工用光电液耦合传导管电极,其特征在于,所述透光基体侧面靠近激光导入端的位置设置有电解液导入孔,电解液经由所述电解液导入孔和光电液耦合传导管电极内孔冲入激光电解复合加工的加工区域。
5.根据权利要求2所述的一种激光电解复合加工用光电液耦合传导管电极,其特征在于,所述的端部导电层位于所述透光基体的激光导出端;
所述端部导电层由内环状层、外环状层和连接线构成,所述内环状层直接与所述内壁导电层连接,所述内环状层和所述外环状层之间由至少1根所述连接线连接。
6.根据权利要求2所述的一种激光电解复合加工用光电液耦合传导管电极,其特征在于,所述透光基体的激光导出端设置为平行导光的平头结构或聚焦导光的结构,以使当激光导出端采用平头结构时,激光直射入加工区域,当激光导出端采用聚焦导光的结构时,激光在加工区域内聚焦成圆形或环形。
7.根据权利要求6所述的一种激光电解复合加工用光电液耦合传导管电极,其特征在于,所述聚焦导光的结构设置为锥形结构或曲面结构。
8.一种激光、电解液和电流导入机构,其特征在于,包括权利要求4中所述的光电液耦合传导管电极、光束整形与导入光路和液电导入组件;
所述光束整形与导入光路与所述光电液耦合传导管电极的激光导入端连接,所述光束整形与导入光路包括圆锥透镜与凸透镜,所述圆锥透镜与所述凸透镜的轴线重合,且所述凸透镜设置在所述圆锥透镜与所述透光基体之间,以使激光经由圆锥透镜和凸透镜整形为环形光,所述环形光导入所述激光导入端;
所述液电导入组件包括液电连接环、密封塞和电连接头,所述液电连接环套接在所述外侧反射包层的外部,所述液电连接环的侧壁开有与电解液导入孔相对应的流体入口,所述密封塞设置在所述光电液耦合传导管电极内孔中靠近所述激光导入端的一端,所述电连接头上接有脉冲电源,所述电连接头穿过所述液电连接环插接在导电连接孔内,所述电连接头与所述内壁导电层连通。
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