[发明专利]一种隧道扫描显微镜

权利要求书

1.一种隧道扫描显微镜，包括底座、镜体、惯性马达、扫描头和样品台，所述镜体为中空结构，所述镜体一端与底座连接，所述镜体另一端与样品台连接，其特征在于，所述镜体内设置有惯性马达，惯性马达包括平行设置的两个压电管，所述两个压电管一端固定在底座上，所述两个压电管另一端设有滑轨，所述两个压电管与所述滑轨间设有绝缘片，所述滑轨为一端中空的长方体，所述滑轨靠近中空一侧的侧面设有滑槽，所述滑轨内部第一滑块，所述第一滑块上设有圆柱，所述第一滑块底面与所述滑轨间设有弹簧片，所述第一滑块顶面与所述滑轨间设有圆球；

所述扫描头包括针托、扫描管、探针和第二滑块，所述第二滑块两端中空，所述第二滑块内部设有所述扫描管，所述扫描管两端通过绝缘环固定在所述第二滑块内，所述扫描管与探针通过针托连接，所述第二滑块底部设有圆槽，所述圆槽与所述第一滑块上的圆柱相配合，所述滑块外侧两侧面设有凸台，所述凸台与沟槽一面连接，所述沟槽另一面与所述样品台接触。

2.根据权利要求1所述的隧道扫描显微镜，其特征在于，所述第一滑块顶面与所述滑轨间设有三个圆球，所述圆球呈等腰三角形。

3.根据权利要求1所述的隧道扫描显微镜，其特征在于，所述样品台呈L型，所述样品台一端放置样品，所述样品台另一端设有长方形槽，所第二滑块一端设置在所述长方形槽中。

4.根据权利要求1所述的隧道扫描显微镜，其特征在于，所述沟槽为U型。

5.根据权利要求4所述的隧道扫描显微镜，其特征在于，所述沟槽与所述第二滑块通过环氧树胶连接，所述沟槽与所述样品台接触面光滑。

6.根据权利要求1所述的隧道扫描显微镜，其特征在于，所述第一滑块纵截面为凸型。

7.根据权利要求1所述的隧道扫描显微镜，其特征在于，所述圆球、绝缘片、沟槽和绝缘环都采用蓝宝石材料。

8.根据权利要求1所述的隧道扫描显微镜，其特征在于，所述底座和所述滑轨采用金属钛材料。