[发明专利]一种超宽带薄膜体声波滤波器电路在审
| 申请号： | 202111102938.0 | 申请日： | 2021-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN113992185A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 赵洪元;王亚宁;周明 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | H03H9/54 | 分类号： | H03H9/54;H03H9/17 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 陆烨 |
| 地址： | 210016 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 宽带 薄膜 声波 滤波器 电路 | ||
1.一种超宽带薄膜体声波滤波器电路，其特征在于，该电路为一阶阶梯型超宽带薄膜体声波滤波器电路或n阶阶梯型超宽带薄膜体声波滤波器电路，n＞1；
一阶阶梯型超宽带薄膜体声波滤波器电路：包括相互级联的串联谐振器和并联谐振器，所述的串联谐振器和并联谐振器的两端均并联一个电容电感串联支路，所述电容电感串联支路包括串联的电容和电感；所述的串联谐振器和并联谐振器均包括上表面带有凹槽的衬底、位于衬底上的底电极层、位于底电极层上的压电层和位于压电层上的顶电极层；
n阶阶梯型超宽带薄膜体声波滤波器电路：将n个一阶阶梯型超宽带薄膜体声波滤波器电路依次级联。
2.根据权利要求1所述的一种超宽带薄膜体声波滤波器电路，其特征在于，所述电感为键合线电感、平面螺旋电感、贴片电感或TSV电感。
3.根据权利要求1所述的一种超宽带薄膜体声波滤波器电路，其特征在于，所述的电容为微带电容、贴片电容或者MIM电容。
4.根据权利要求1所述的一种超宽带薄膜体声波滤波器电路，其特征在于，串联谐振器的并联谐振频率高于串、并联谐振器级联组成的滤波器的通带频率。
5.根据权利要求1所述的一种超宽带薄膜体声波滤波器电路，其特征在于，并联谐振器的并联谐振频率位于串、并联谐振器级联组成的滤波器的中心频率位置。
6.根据权利要求1所述的一种超宽带薄膜体声波滤波器电路，其特征在于，所述电容电感串联支路的谐振频率与相应的并联谐振器或串联谐振器的串联谐振频率的差值小于1％。
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