[发明专利]一种树脂片上AR镀膜工艺

说明书

本发明公开了一种树脂片上AR镀膜工艺。本发明工艺通过将大尺寸树脂片切割成小尺寸树脂片小片，然后贴上UV膜进行AR镀膜，镀膜时对功率和每次镀膜的间隔时间进行严格控制，防止出现温度超过85℃，导致树脂片的特性发生改变，减小产品发生的形变，防止造成产品表面膜裂，提升产品的加工质量，提升良品率。

技术领域

本发明涉及树脂片镀膜工艺领域，尤其涉及一种树脂片上AR镀膜工艺。

背景技术

树脂片是现有常用光学用品材料。树脂片镀膜是无机物（比如氧化硅，就是沙子）镀到有机物（塑料）上面。和其它镀膜的一个很大不同是基片不能加热，因为基材是塑料，因此基本得到的稳定状态就是室温的条件。再升高温度（或者湿度吸水）都会造成有机的基材膨胀，而这时候那层无机薄膜则变化不大。这样在两者之间就产生了应力，达到某种阈值后就会释放造成膜层撕裂或者起皱。

现有树脂片AR镀膜工艺是通过夹具固定树脂片后直接镀膜，反面后再镀膜出片，但在镀膜过程中，由于树脂片薄且本身质地偏脆，施力不均很容易出现片本身碎裂，且由于温度的变化，镀膜后容易出现产品形变较大，造成产品表面膜裂的问题，因此如何解决这个问题，是本申请的主要研究方向。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明设计了一种树脂片上AR镀膜工艺。

本发明采用如下技术方案：

一种树脂片上AR镀膜工艺，其步骤为：

S1、切片：将77*77*0.21mm的树脂片粘附在UV膜上进行固定，再在专用切割机上切成10*10*0.21mm的树脂片小片，刀头处通过持续的通入水流来冷却并冲刷碎屑，切割时，在树脂片上进行直线切割，切割后把树脂片小片放在专用的清洗装置上进行旋转清洗，清洗后通过紫外线照射对UV膜进行解胶，完成将大尺寸树脂片切割成小尺寸树脂片小片的全过程；

S2、贴膜：在小尺寸树脂片小片底面粘附UV膜，通过UV膜固定小尺寸树脂片小片；

S3、镀膜：在小尺寸树脂片小片表面进行AR镀膜，AR镀膜时，选取SIO₂的镀膜功率在5kw，Ar充量为40sccm，O₂充量为50sccm，镀率为1.75nm/s，Nb₂O₅镀膜功率在4kw，Ar充量为270sccm，镀率为2.1nm/s，每次镀膜20nm，间隔45s；

S4、解胶：通过紫外线照射对完成单面AR镀膜的小尺寸树脂片小片的UV膜进行解胶；

S5、倒膜：对小尺寸树脂片小片进行翻面，并在翻面后的小尺寸树脂片小片底面粘附UV膜，通过UV膜固定小尺寸树脂片小片；

S6、第二面镀膜：在翻面后的小尺寸树脂片小片表面进行AR镀膜，AR镀膜时，选取SIO₂的镀膜功率在5kw，Ar充量为40sccm，O₂充量为50sccm，镀率为1.75nm/s，Nb₂O₅镀膜功率在4kw，Ar充量为270sccm，镀率为2.1nm/s，每次镀膜20nm，间隔45s；

S7、解胶：通过紫外线照射对完成双面AR镀膜的小尺寸树脂片小片的UV膜进行解胶；

S8、取片和检验：通过镊子轻轻取出完成双面AR镀膜的小尺寸树脂片小片在显微镜下进行膜裂和外观完整度的检查，完成整个树脂片上AR镀膜工艺。