[发明专利]一种铝质天线蚀刻方法在审
| 申请号: | 202111058899.9 | 申请日: | 2021-09-10 |
| 公开(公告)号: | CN115786914A | 公开(公告)日: | 2023-03-14 |
| 发明(设计)人: | 李俊;肖竞 | 申请(专利权)人: | 大富科技(安徽)股份有限公司 |
| 主分类号: | C23F1/02 | 分类号: | C23F1/02;C23F1/36;C23G1/12;C23C22/56;C23C22/76;B08B3/12 |
| 代理公司: | 深圳市睿智专利事务所 44209 | 代理人: | 郭文姬;周慧玲 |
| 地址: | 233000 安徽省蚌埠市高*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 天线 蚀刻 方法 | ||
1.一种铝质天线蚀刻方法,其特征在于,包括:
步骤3000,压膜前清洗铝板表面;
步骤4000,在铝板表面压膜,对压膜后铝板曝光;
步骤5000,蚀刻前清洗曝光后的铝板;
步骤6010,使用碱性剂蚀刻清洗后的铝板,碱性蚀刻剂浓度为15%-20%;
步骤7000,清洗蚀刻后的铝板,去除铝板表面压膜;
步骤8010,对铝板浸酸表面处理,使用浓度为90-100%的硝酸、5%-10%的氢氟酸溶液喷淋;
步骤9000,浸酸后清洗铝板。
2.根据权利要求1所述的铝质天线蚀刻方法,其特征在于,
所述步骤8010中,浸酸的温度为20-30℃;
喷淋压力0.5-1.0 kg/cm2,时间60-90s。
3.根据权利要求1所述的铝质天线蚀刻方法,其特征在于,
步骤9000还包括:
步骤9010,使用工业用自来水水洗铝板,水洗温度为20-30℃;
步骤9020,采用压缩空气吹干铝板;
步骤9030,用收料机将铝板收料。
4.根据权利要求3所述的铝质天线蚀刻方法,其特征在于,
步骤9010中,采用喷淋水洗铝板,喷淋压力1.0-1.5 kg/cm2;清洗时间30-60s。
5.根据权利要求3所述的铝质天线蚀刻方法,其特征在于,
步骤9020中,使用经过滤的压缩空气吹干铝板表面水渍,气体压力为2.0-2.5 kg/cm2,压缩空气温度为70-80℃。
6.根据权利要求1所述的铝质天线蚀刻方法,其特征在于,
步骤7000包括:
步骤7010,喷淋酸洗铝板,使用硝酸浓度为50%-60%,硝酸温度为20-30℃,喷淋压力为1.0-1.5 kg/cm2,清洗时间为30-60s;
步骤7020,喷淋水洗铝板,使用工业用自来水,喷淋水温度为20-30℃,喷淋压力为1.0-1.5 kg/cm2,清洗时间为30-60s;
步骤7030,使用有机去膜液对铝板喷淋退膜,有机去膜液浓度为10%-15%,使用温度为40-50℃,喷淋压力为1.0-1.5 kg/cm2,退膜处理时间为60-80s;
步骤7040,对铝板喷淋水洗使用工业用自来水,使用温度为20-30℃,喷淋压力为1.0-1. kg/cm2,清洗时间为30-60s。
7.根据权利要求1所述的铝质天线蚀刻方法,其特征在于,
步骤5000包括:
步骤5010,溢流水洗铝板;
步骤5020,使用硝酸对铝板喷淋酸洗,硝酸浓度为50%-60%,使用温度为20-30℃,喷淋压力为1.0-1.5 kg/cm2,清洗时间为30-60s。
8.根据权利要求1所述的铝质天线蚀刻方法,其特征在于,
步骤3000之前包括:
步骤1000,使用工业机械手臂夹取铝板;
步骤2000,将铝板放入传送段,用夹持机构调整入料位置与方向。
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