[发明专利]一种CSP在线光学检测机

权利要求书

1.一种CSP在线光学检测机，其特征在于，包括光学检测机箱体(1)，于所述光学检测机箱体(1)两侧分别设置有进料托盘(2)以及出料托盘(3)，光学检测返修台(4)设置于光学检测机箱内且所述进料托盘(2)以及出料托盘(3)与所述光学检测返修台(4)两端接合，控制面板(7)设置于光学检测机箱体(1)上进行调控，控制面板(7)内包括有控制中心；

所述光学检测返修台(4)包括依次排布的进料测试模块(42)、显微返修模块(43)、升降托料模块(44)以及拉料收料模块(45)，进料测试模块(42)与进料托盘(2)相对应，拉料收料模块(45)与出料托盘(3)对应，所述进料测试模块(42)、显微返修模块(43)、升降托料模块(44)以及拉料收料模块(45)均由所述控制中心控制。

2.根据权利要求1所述的CSP在线光学检测机，其特征在于，所述显微返修模块(43)包括定位装置以及设置于定位装置上的操作平台(437)和显微装置，所述定位装置包括X轴移动模块(431)以及Y轴移动模块(432)，Y轴移动模块(432)基于X轴移动模块(431)设置且于Y轴移动模块(432)上设置有显微装置，所述操作平台(437)设置于X轴移动模块(431)上，显微装置位于操作平台(437)上方。

3.根据权利要求2所述的CSP在线光学检测机，其特征在于，所述显微装置包括显微镜模块(435)以及晶圆片(436)，所述显微镜模块(435)以及晶圆片(436)均固定于支架上且所述晶圆片(436)设置于显微镜模块(435)正下方。

4.根据权利要求2所述的CSP在线光学检测机，其特征在于，于所述操作平台(437)上还设置有热熔机构(439)、上下压合机构(438)以及吹风风扇(433)，所述热熔机构(439)与上下压合机构(438)配合完成产品的返修，吹风风扇(433)用于保持操作平台(437)整洁。

5.根据权利要求4所述的CSP在线光学检测机，其特征在于，于所述Y轴移动模块(432)上还设置有控制手柄(434)，控制手柄(434)包括按钮座(4341)、不自锁按钮(4342)以及二档开关(4343)，所述不自锁按钮(4342)设置于按钮座(4341)顶部，二档开关(4343)设置于按钮座(4341)侧面，用于控制所述定位装置的X轴和Y轴运动以及锁紧和上下压合机构(438)的封合。

6.根据权利要求1所述的CSP在线光学检测机，其特征在于，所述进料测试模块(42)包括限位机构以及检测机构，所述限位机构与进料托盘(2)接合，检测机构则相邻于限位机构设置，用于完成对产品的定位以及检测。

7.根据权利要求6所述的CSP在线光学检测机，其特征在于，所述检测机构包括相邻于限位机构设置的升降气缸(424)以及固定于限位机构和升降气缸(424)之间的第一相机模块(423)，于升降气缸(424)上固定有若干用于检测的探针(425)，升降气缸(424)固定于检测安装架上，第一相机模块(423)与探针(425)配合完成对产品的外观以及功能的检测。

8.根据权利要求7所述的CSP在线光学检测机，其特征在于，所述限位机构包括压紧从动机构(421)以及固定压紧气缸(422)，所述压紧从动机构(421)设置于进料托盘(2)与光学检测返修台(4)接合处，固定压紧气缸(422)则距离压紧从动机构(421)一定距离设置且位于限位机构和压紧从动机构(421)之间。

9.根据权利要求1所述的CSP在线光学检测机，其特征在于，所述拉料收料模块(45)包括拉料平台，所述拉料平台与出料托盘(3)相接合，于所述拉料平台两侧设置有用于压合产品的限位机构，基于所述拉料平台设置有拉料机构，用于将产品运送至出料托盘(3)；所述拉料机构包括对称设置于拉料平台两侧的夹具(451)以及设置于拉料平台底侧的气缸，夹具(451)与气缸配合完成对产品的带出。