[发明专利]一种泊松比可调控的柔性应变传感器

权利要求书

1.一种泊松比可调控的柔性应变传感器，包括从下至上依次设置的第一柔性基底层、力学超结构层、第二柔性基底层和导电灵敏层，所述导电灵敏层表面设置电极；其特征在于，所述力学超结构层由m×m个力学超结构单元阵列排布形成，所述力学超结构单元由基础单元以端点为圆心，依次旋转60°、旋转一周得到，所述基础单元呈s型，由三段直线和两段圆弧交替连接构成，直线与圆弧相切；其中，三段直线尺寸相同，两段圆弧尺寸相同，所述直线的线宽为50～200μm,长度0.8～1.2mm；所述圆弧的角度为120°～150°，圆弧所在圆的半径为0.6～0.8mm，圆弧线宽25～100μm；

通过调整直线和圆弧的线宽实现泊松比的调控，具体为直线线宽小于100μm，圆弧线宽小于50μm，传感器呈现出正泊松比的效果；直线线宽100μm～150μm，圆弧线宽50～75μm，传感器会呈现出接近零泊松比的效果；直线线宽大于150μm，圆弧线宽大于75μm，传感器会呈现负泊松比的效果。

2.如权利要求1所述的柔性应变传感器，其特征在于，所述力学超结构单元的数量m≥3。

3.如权利要求1所述的柔性应变传感器，其特征在于，所述第一柔性基底层的厚度为100～150μm，材料为聚二甲基硅氧烷；所述力学超结构层的材料为聚酰亚胺，厚度为50～100μm；所述第二柔性基底层的材料为聚二甲基硅氧烷，厚度为100～150μm；所述导电灵敏层的厚度为100～200nm，材料为金或者铂；所述电极材料为银。

4.如权利要求1所述的柔性应变传感器，其特征在于，所述第一柔性基底材料和第二柔性基底材料为聚二甲基硅氧烷、聚己二酸/对苯二甲酸丁二酯、氢化苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物中的一种，第一柔性基底材料和第二柔性基底材料相同或不同。