[发明专利]开放式微焦点X射线源及其控制方法

说明书

本发明提供一种开放式微焦点X射线源及其控制方法，所述开放式微焦点X射线源包括：开放式射线管，开放式射线管包括阴极系统、偏转系统、聚焦系统；高压电源系统，高压电源系统用于为电子束提供发射电流I₀、加速高压U₀和栅压U_G；真空系统，真空系统用于进行抽真空处理；控制系统，控制系统用于根据轰击阳极靶的电子束的束斑尺寸控制高压电源系统对发射电流I₀、加速高压U₀、偏转系统的偏转线圈电流I_XY、聚焦系统的聚焦线圈电流I_F进行调节，以使束斑尺寸满足预设要求。该开放式微焦点X射线源可以根据反馈参数变化对输入参数进行自动调节，使开放式微焦点X射线源工作在最佳参数下，减少人为操作引起的错误，使放射出的X光的质量更高，稳定性更好。

技术领域

本发明涉及微焦点技术领域，具体涉及一种开放式微焦点X射线源和开放式微焦点X射线源的控制方法。

背景技术

微焦点X射线源在工业检测中具有非常高的分辨率，目前，微焦点X射线源一般采用固定参数直接控制相关系统以发出X光，或者人工对开放式微焦点X射线源的参数进行调节。

然而，随着微焦点技术的发展，微焦点X射线源系统所包含的组件增加，上述采用固定参数控制可能由于外界变化或微焦点X射线源内部结构变化原因，导致无法使微焦点X射线源工作在最佳参数下，而采用人工参数调节的方式，可能由于人工操作失误，无法使微焦点X射线源工作在最佳参数下，由此导致固定参数放射的X光达不到质量要求。

发明内容

本发明为解决上述技术问题，提供了一种开放式微焦点X射线源，该开放式微焦点X射线源可以根据反馈参数变化对输入参数进行自动调节，使开放式微焦点X射线源工作在最佳参数下，且可以减少人为操作引起的错误，使放射出的X光的质量更高，提高开放式微焦点X射线源工作的稳定性。

本发明还提供了一种开放式微焦点X射线源的控制方法。

本发明采用的技术方案如下：

本发明的第一方面实施例提供了一种开放式微焦点X射线源，包括：开放式射线管，所述开放式射线管包括阴极系统、偏转系统、聚焦系统，所述阴极系统用于发射电子束，所述偏转系统用于为所述电子束提供偏转磁场，所述聚焦系统用于聚焦所述电子束，以使所述电子束轰击阳极靶放射出X光；高压电源系统，所述高压电源系统用于为电子束提供发射电流I₀、加速高压U₀和栅压U_G；真空系统，所述真空系统用于进行抽真空处理；控制系统，所述控制系统用于根据轰击阳极靶的电子束的束斑尺寸控制所述高压电源系统对所述发射电流I₀、加速高压U₀、偏转系统的偏转线圈电流I_XY、聚焦系统的聚焦线圈电流I_F进行调节，以使所述束斑尺寸满足预设要求。

根据本发明的一个实施例，上述的开放式微焦点X射线源还包括：冷却系统，所述冷却系统用于对所述聚焦系统和阳极靶进行冷却。

根据本发明的一个实施例，所述控制系统还用于在所述开放式微焦点X射线源的真空度不满足预设真空度时控制所述高压电源系统停止工作。

根据本发明的一个实施例，所述阴极系统包括灯丝，所述控制系统还用于：接收到开机指令时，在最小加速高压下控制所述开放式射线管开启；以预设补偿逐步将所述加速高压U₀逐步提高至最大值；进行灯丝校准，以优化发射电流I₀；根据所述偏转系统的偏转线圈电流I_XY和阳极靶的阳极电流I_T进行电子束定心。