[发明专利]一种气浮转台

权利要求书

1.一种气浮转台，其特征在于，包括：

节流器安装座，其具有上侧面和下侧面，且内部设置有连通上侧面和下侧面的圆通孔，所述节流器安装座的上侧面设置有第一出气口，所述节流器安装座的下侧面设置有第二出气口，所述节流器安装座的内侧面设置有径向出气口，所述节流器安装座内部设置有与所述第一出气口、所述第二出气口和所述径向出气口连通的供气通路；

转子，其同轴设置在所述节流器安装座的圆通孔内；

上止推板，其设置在所述上侧面的上方，且所述上止推板的下侧面与所述转子的上端连接；

下止推板，其设置在所述下侧面的下方，且所述下止推板的上侧面与所述转子的下端连接；

驱动组件，其与所述下止推板连接，且所述驱动组件驱动所述下止推板、所述转子和所述上止推板沿所述转子的中轴线同轴转动；

其中，所述转子的外径小于所述圆通孔的内径，所述上止推板的下侧面与所述下止推板的上侧面之间的距离大于所述节流器安装座的厚度；

工作时，所述上止推板与所述节流器安装座之间设置有第一气膜，所述下止推板与所述节流器安装座之间设置有第二气膜，所述节流器安装座与所述转子之间设置有径向气膜。

2.根据权利要求1所述的一种气浮转台，其特征在于，还包括：

上推力节流器，所述节流器安装座的上侧面设置有用于安装所述上推力节流器的上凹槽，所述第一出气口设置在所述上凹槽内；

下推力节流器，所述节流器安装座的下侧面设置有用于安装所述下推力节流器的下凹槽，所述第二出气口设置在所述下凹槽内；

径向节流器，所述节流器安装座的内侧面设置有用于安装所述径向节流器的环形槽，所述径向出气口设置在所述环形槽内。

3.根据权利要求2所述的一种气浮转台，其特征在于，所述上凹槽为环形凹槽，所述上推力节流器设置在所述上凹槽内，所述上推力节流器为与所述上凹槽适配的多孔介质构成的圆环；

所述下凹槽为环形凹槽，所述下推力节流器设置在所述下凹槽内，所述下推力节流器为与所述下凹槽适配的多孔介质构成的圆环；

所述径向节流器设置在所述环形槽内，所述径向节流器为与所述环形槽适配的多孔介质构成的圆筒；

所述上推力节流器的厚度不小于所述上凹槽的深度，所述下推力节流器的厚度不小于所述下凹槽的深度，所述径向节流器的厚度不大于所述环形槽的深度。

4.根据权利要求2所述的一种气浮转台，其特征在于，所述径向节流器设置有：

周向气道，其设置在所述径向节流器的外侧面，且所述周向气道的中轴线与所述径向节流器的中轴线重合；

轴向气道，其设置在所述径向节流器的外侧面，所述轴向气道与所述径向节流器的中轴线平行，所述轴向气道与所述周向气道交叉且连通；

环形加强筋，其设置在所述径向节流器的外侧面。

5.根据权利要求2所述的一种气浮转台，其特征在于，所述驱动组件包括：

定子套筒，其设置在所述下止推板下方，且所述定子套筒相对于所述节流器安装座位置固定；

电机定子，其设置在所述定子套筒内，且所述电机电子的外侧面与所述定子套管固定连接；

电机动子，其设置在所述电机定子内，且所述电机电子和所述电机动子通过电磁力驱动相对转动，所述下止推板与所述电机动子同轴且固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种气浮转台，其特征在于，所述驱动组件包括光栅尺位移传感器，所述光栅尺位移传感器包括：

标尺光栅，其呈环形设置，且通过光栅安装座与所述下止推板同轴且固定连接；

光栅读数头，其通过读数头安装座与所述定子套筒同轴且固定连接；

其中，所述光栅读数头与所述标尺光栅对应设置，且所述光栅读数头检测所述标尺光栅的转动角度。

7.根据权利要求1所述的一种气浮转台，其特征在于，设定所述上止推板的上侧面为工作台面，所述上止推板与所述节流器安装座之间设置有防尘罩，所述防尘罩包括：

防尘罩竖筒，其下端与所述节流器安装座固定连接；

防尘罩圆环，其外环与所述防尘罩竖筒的上端固定连接，所述上止推板的上侧面设置有与所述防尘罩圆环适配的凹槽。