[发明专利]一种铝合金表面镀敷工艺在审
| 申请号: | 202110969616.X | 申请日: | 2021-08-23 |
| 公开(公告)号: | CN113774366A | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
| 发明(设计)人: | 左利芸 | 申请(专利权)人: | 左利芸 |
| 主分类号: | C23C18/16 | 分类号: | C23C18/16;C23C18/32;C23C18/38 |
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| 地址: | 200237 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 铝合金 表面 工艺 | ||
1.一种铝合金表面镀敷工艺,其特征在于包括如下步骤:
(1)表面预处理获得清洁铝合金表面;
(2)通过光刻胶-显影技术获得待镀区域和非镀区域;
(3)酸浸处理;
(4)在待镀区域上直接电镀铜,所述电镀铜的高度大于非镀区域的厚度;
(5)除去非镀区域的光刻胶;
(6)化学浸铜,清洗;
(7)化学镀镍。
2.如权利要求1所述的一种铝合金表面镀敷工艺,其特征在于表面预处理为:用 500、800、1000、1200目金刚石砂纸依次对铝合金表面进行打磨、再用抛光机抛光、超纯水超声清洗、无水乙醇洗涤。
3.如权利要求1所述的一种铝合金表面镀敷工艺,其特征在于光刻胶-显影技术包括有涂覆光刻胶-爆前烘烤-曝光形成待镀区域和非镀区域-显影除去待镀区域上的胶-烘烤,所述光刻胶为耐酸腐蚀光刻胶。
4.如权利要求1所述的一种铝合金表面镀敷工艺,其特征在于所述涂覆光刻胶为旋涂,转速3000-4000r/min,时间为30-40s,获得的厚度为1-1.5μm;所述爆前烘烤:氮气保护条件下,80-85oC下烘烤14-16min,曝光:使用H94-25C型曝光机曝光,时间为30-40s;显影:使用0.6-0.7wt.%NaOH溶液作为显影液,时间为50-60s,显影后使用去离子水洗涤;烘烤:氮气保护条件下,130-135oC下烘烤20-25min。
5.如权利要求1所述的一种铝合金表面镀敷工艺,其特征在于所述待镀区域为圆形或正方形,优选圆形,所述圆形的直径为0.4-0.6μm,相邻圆形待镀区域的距离为1-1.2微米,所述待镀区域的高度为1.1-1.6μm,大于光刻胶厚度。
6.如权利要求1所述的一种铝合金表面电镀工艺,其特征在于所述酸浸处理:使用3-5wt.%盐酸水溶液浸泡5-7min,温度25-30℃。
7.如权利要求1所述的一种铝合金表面镀敷工艺,其特征在于所述电镀铜电解液中包括有30-32g/L焦磷酸酸铜、320-330g/L焦磷酸钾、50-55g/L柠檬酸铵、1-1.5g/L双(2-甲基-3-呋喃基)二硫醚、0.5-1g/L烯丙基硫脲和0.01-0.03g/L脂肪醇聚氧乙烯醚,电镀条件:氨水调节pH=8.4-8.6,温度35℃,电流密度0.2-0.3A/dm2,时间为2-7min。
8.如权利要求1所述的一种铝合金表面镀敷工艺,其特征在于通过将铝合金于常温条件下浸泡于丙酮溶液1-2min除去非镀区域的光刻胶。
9.如权利要求1所述的一种铝合金表面镀敷工艺,其特征在于在除去光刻胶的非镀区域进行化学浸铜,化学浸铜液由5-9g/L硫酸铜、10-15g/L柠檬酸、1-2g/L羟基亚乙基二膦酸、0.1-0.3g/L十二烷基硫酸钠和去离子水组成,浸泡温度为25-30oC,浸泡时间30-60s。
10.如权利要求1所述的一种铝合金表面镀敷工艺,其特征在于所述化学镀镍的工艺如下:
镀液由0.08-0.1M硫酸镍、0.17-0.2M次亚磷酸钠、0.035-0.04M柠檬酸、0.03-0.05M醋酸钠、30-40ml/L乳酸和去离子水组成,使用氨水调节pH=4.5-5,时间为30-40min,获得的镀层厚度为5-7μm。
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C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
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C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
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