[发明专利]一种X射线靶

说明书

本发明公开了一种X射线靶。所述X射线靶包括：X射线毛细管和靶材件；靶材件设置在X射线毛细管的入口端；电子束照射在靶材件上产生X射线，X射线透过靶材件并在X射线毛细管内聚焦，聚焦后的X射线通过X射线毛细管的出口端出射，形成微焦斑X射线。本发明在大束斑电子束的轰击下，可以直接获得微焦斑X射线，结构简单。

技术领域

本发明涉及X射线领域，特别是涉及一种X射线靶。

背景技术

X射线自1895年被发现以来，就因其独特的性质而被广泛应用，如特征X射线的衍射、X射线成像、X射线荧光等，其中微束X射线是提高分析精度、成像分辨率的关键因素，而微束单色X射线在X射线衍射方面必不可少。

目前，获得微束X射线的方法主要分为两种，一是尽量缩小入射电子束的束斑，从而获得小束斑的出射X射线，该方法涉及到复杂的电子光学系统，包括出射小束斑电子束的电子枪，聚焦电子束的磁透镜等，为获得小束斑电子束，通常还需要双聚光镜等；二是利用X射线光学元件，将大束斑的发散X射线聚焦为微焦斑X射线，X射线毛细管就是一类重要的X射线聚焦元件，该方法中X射线源与X射线光学元件是分开的，由X射线源产生X射线，X射线在光学元件的作用下聚焦成微焦斑X射线，其间涉及复杂的精密机械结构和对中等操作。因此，目前获得微束X射线的方法的光路结构都比较复杂。

发明内容

基于此，本发明实施例提供一种X射线靶，以简化获取微束X射线的光路结构。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

一种X射线靶，包括：

X射线毛细管和靶材件；

所述靶材件设置在所述X射线毛细管的入口端；

电子束照射在所述靶材件上产生X射线，所述X射线透过所述靶材件并在所述X射线毛细管内聚焦，聚焦后的X射线通过所述X射线毛细管的出口端出射，形成微焦斑X射线。

可选的，所述靶材件嵌入到所述X射线毛细管的入口端。

可选的，所述靶材件通过固定件固定在所述X射线毛细管的入口端。

可选的，所述X射线毛细管为X射线多毛细管；所述X射线多毛细管的出口端出射多束微焦斑X射线。

可选的，所述X射线毛细管为X射线单毛细管；所述X射线单毛细管的出口端设置束流阻挡器；所述束流阻挡器的尺寸小于所述X射线单毛细管的出口端的尺寸。

可选的，所述X射线毛细管为X射线单毛细管；所述靶材件的中间部分的厚度大于周边部分的厚度；电子束照射在所述靶材件上产生的X射线仅在所述靶材件的周边部分透过。

可选的，所述靶材件的厚度为0.5H-0.6H；其中，H为穿透深度，U为入射电子束的加速电压，ρ为靶材件的密度。

可选的，所述靶材件的中间部分的厚度大于3H；所述靶材件的周边部分的厚度为0.5H-0.6H；其中，H为穿透深度，U为入射电子束的加速电压，ρ为靶材件的密度。

可选的，所述X射线毛细管为内壁镀高密度薄膜层的玻璃毛细管或内壁镀特定多层膜结构的玻璃毛细管。

可选的，所述靶材件的材料为金属材料。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明实施例提出了一种X射线靶，该X射线靶包括：X射线毛细管和直接设置在X射线毛细管的入口端的靶材件；电子束照射在靶材件上产生X射线，X射线透过靶材件并在X射线毛细管内聚焦，聚焦后的X射线通过X射线毛细管的出口端出射，形成微焦斑X射线，本发明的X射线源(靶材件)与X射线光学元件(X射线毛细管)是整体结构，二者之间无需其他的复杂的结构，该X射线靶可在大束斑电子束的轰击下，直接获得微焦斑X射线，结构简单。

附图说明