[发明专利]键合线绕线一体机

说明书

本发明提供了键合线绕线一体机，包括键合线绕线一体机，包括机架，机架的外壁上连接有放线卷，放线卷上绕有键合线，其特征在于：所述键合线依次穿过退火炉、延伸至冷却装置后、穿过干燥炉、并经过上导向轮导向后连接在收卷装置中；退火炉通过支架连接在机架的侧壁上，退火炉包括第一外壳，第一外壳的内壁上设置有保温层，保温层内包覆有第一内壳，且第一外壳、保温层和第一内壳的侧壁上均开设有方便键合线从侧边进入的第一线槽。本发明克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，通过多个设备组合，能够实现对键合线绕线的同时还能进行退火、冷却和干燥的一体化自动化的加工，大大提高了键合线绕线的效率，具有很强的实用性。

技术领域

本发明涉及键合线绕线设备技术领域，具体涉及键合线绕线一体机。

背景技术

金丝键合在光通讯系统，光信息处理系统，光学仪器仪表中应用比较广泛，多用于芯片上半导体与外部连接用的导线。

而且作用于芯片上的键合线常用的直径范围为15～70μm，传统的键合线绕线设备很难实现对这种很细的键合线绕线，同时在键合线复绕的过程中还需要对键合线进行退火、冷却、干燥、处理，目前针对上述工序，通常会分工进行，造成绕线效率较低。

另外传统的绕线设备绕线速度也不能太快，一旦绕线速度过快很容易造成键合线断裂和变形。

为了提高键合线绕线的效率，我们提出键合线绕线一体机。

发明内容

本发明的目的在于解决或者至少缓解现有技术中存在的问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：

键合线绕线一体机，包括机架，机架的外壁上连接有放线卷，放线卷上绕有键合线，所述键合线依次穿过退火炉、延伸至冷却装置后、穿过干燥炉、并经过上导向轮导向后连接在收卷装置中；

所述退火炉通过支架连接在机架的侧壁上，退火炉包括第一外壳，第一外壳的内壁上设置有保温层，保温层内包覆有第一内壳，且第一外壳、保温层和第一内壳的侧壁上均开设有方便键合线从侧边进入的第一线槽；

所述退火炉的下方设置有连接在机架上的冷却装置，冷却装置中设置有冷却液水槽；

冷却装置的另一侧上方设置有活动连接在机架侧壁上的干燥炉；

干燥炉的上端设置有连接在机架侧壁上的上导向轮，上导向轮将键合线导向机架的侧壁上连接的收卷装置。

可选地，所述键合线位于放线卷和退火炉之间的一段上还绕过伺服张力器，所述伺服张力器连接在机架位于放线卷上方的外壁上，伺服张力器中设置有第一张力检测器。

可选地，所述退火炉的正下方设置有连接在机架侧壁上的惰性气体输送装置，惰性气体输送装置内同样设置有第二外壳和第二内壳，且第二外壳与第二内壳中设置有第二线槽，且第二内壳穿过第二外壳并通过第二旋转气缸进行旋转。

可选地，所述第一内壳的下端延伸出第一外壳，第一外壳的下端通过传动装置连接有旋转气缸，通过旋转气缸能够带动第一内壳转动。

可选地，所述支架的一端连接有退火炉平移装置，退火炉平移装置能够带动支架平移，支架设置在滑动座上。

可选地，所述退火炉的下端铰接在支架上，退火炉的上端通过退火炉倾斜装置与支架相连接。

可选地，所述冷却装置中还设置左导向轮和右导向轮，键合线通过左导向轮与冷却液进行接触，且键合线通过右导向轮向上转向。

可选地，所述干燥炉通过干燥炉平移装置水平移动在机架的侧壁上，干燥炉包括第三外壳和第三内壳，第三外壳和第三内壳上均设置有第三线槽。

可选地，所述键合线位于上导向轮和收卷装置之间的一段上还接触有第二张力检测器和长度传感器。