[发明专利]一种基于超声雾化进样的微等离子体激发源及激发方法

权利要求书

1.一种基于超声雾化进样的微等离子体激发源，其特征在于，包括：交流电源、两根金属电极和超声雾化片；

所述交流电源分别与所述金属电极的一端电性连接；所述金属电极的放电端位于同一平面内；

所述超声雾化片水平设置在所述金属电极的放电端的上方，用于将待测溶液转化成气溶胶并向下喷射至所述金属电极的放电端上以及所述金属电极之间；

所述交流电源、所述金属电极和所述气溶胶配合，用于在所述金属电极的下方形成V形微等离子体；

所述放电端之间的间距为2~8 mm；所述超声雾化片与所述金属电极的放电端之间的垂直距离为10~50 mm；

所述超声雾化片的雾化速度为3~100 μL/s。

2.根据权利要求1所述的基于超声雾化进样的微等离子体激发源，其特征在于，所述金属电极的材质为钨或者钛。

3.根据权利要求1所述的基于超声雾化进样的微等离子体激发源，其特征在于，还包括集成电路板和移动电源；所述移动电源通过所述集成电路板与所述超声雾化片电性连接；所述集成电路板用于调节所述超声雾化片的输出功率及频率。

4.根据权利要求3所述的基于超声雾化进样的微等离子体激发源，其特征在于，所述移动电源的输出电压为4~24 V，输出电流为5~100 mA。

5.根据权利要求1所述的基于超声雾化进样的微等离子体激发源，其特征在于，所述交流电源的输出电压为3~20 kV，输出电流为5~100 mA。

6.一种采用根据权利要求1-5任一项所述的基于超声雾化进样的微等离子体激发源的激发方法，其特征在于，包括如下步骤:

将待测溶液滴加至所述超声雾化片上；

通过所述超声雾化片将所述待测溶液转化成气溶胶并向下喷射至所述金属电极的放电端上以及所述金属电极之间；

通过所述交流电源和所述金属电极在所述金属电极的下方形成V形微等离子体。