[发明专利]一种镧系稀土氧化物复合TiSiN涂层在审
| 申请号： | 202110952851.6 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN113667931A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 王博;王诗阳;南勋 | 申请（专利权）人： | 嘉兴鸷锐新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/02;C23C14/35;B23B27/14 |
| 代理公司： | 北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙) 11562 | 代理人： | 许佳 |
| 地址： | 314032 浙江省嘉兴市秀*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 稀土 氧化物 复合 tisin 涂层 | ||
1.一种镧系稀土氧化物复合TiSiN涂层，其特征在于，涂层成分含3～8mol.％的镧系稀土氧化物，其中镧系稀土元素均匀分布在涂层中；
所述镧系稀土氧化物复合TiSiN涂层厚度为3～5μm；
所述的镧系稀土氧化物复合TiSiN涂层的制备方法，包括以下步骤：将经过离子刻蚀的基材置于真空室中，安装钛源靶材、硅源靶材以及稀土氧化物靶材，氮气环境下，通过磁控溅射法进行镧系稀土氧化物复合TiSiN涂层的沉积；
钛源靶材、硅源靶材持续通入120-180A电流，维持-50V偏压；稀土氧化物靶材持续通入100A电流，维持-20V偏压；
所述真空室真空度为5×10-4mbar，氮气流量为500sccm，所述沉积时间60-240min；
所述钛源靶材、硅源靶材为TiSi靶材，其中硅含量为15～25wt.％；
所述镧系稀土氧化物为氧化镧。
2.根据权利要求1所述的镧系稀土氧化物复合TiSiN涂层，其特征在于，所述离子刻蚀具体包括以下步骤：
将基材置于真空室中，抽真空至5×10-4mbar，升温至450℃，向真空室内通入氩气，氩气流量为45sccm，维持偏压-180V进行离子轰击得到经过离子刻蚀的基材。
3.一种根据权利要求1-2任一项所述的镧系稀土氧化物复合TiSiN涂层在刀具涂层中的应用。
4.根据权利要求3所述的应用，其特征在于，所述刀具为切削刀具。
5.一种切削刀具，其特征在于，所述切削刀具表面涂层为权利要求1-2任一项所述的镧系稀土氧化物复合TiSiN涂层。
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