[发明专利]基于柱面镜的激光光束像散补偿方法、装置及存储介质

说明书

本发明涉及激光设备领域，公开了一种基于柱面镜的激光光束像散补偿方法、装置及存储介质，其方法包括：获取激光的第一质量数据；根据第一质量数据确定像散补偿装置的第一设置参数；将像散补偿装置置入激光的光路，并根据第一设置参数设置像散补偿装置，以使激光穿过设置后的像散补偿装置；获取穿过设置后的像散补偿装置的激光的第二质量数据；根据第二质量数据调节像散补偿装置的第二设置参数，以使与经调节后的第二设置参数对应的第二质量数据满足预设要求。本发明可以解决激光光路系统像差问题，提高激光光路系统输出的激光的质量。

技术领域

本发明涉及激光设备领域，尤其涉及一种基于柱面镜的激光光束像散补偿方法、装置及存储介质。

背景技术

在大型激光系统中，像散是主要的像差之一。消除像散的影响是提高光束质量的一个关键途径。在激光精密加工设备的光路系统中，光学元件包括反射镜、分光镜、扩束镜、场镜、聚焦镜等，由于光学元件加工工艺的限制，导致光学元件的表面平整度或者镀膜质量无法达到理想效果；以及安装光学元件时，由于机械结构误差或者安装误差，这些因素都会给光路系统引入像散。因而，需要寻找一种可以解决激光光路系统像差问题的方法，提高激光光路系统输出的激光的质量。

发明内容

基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种基于柱面镜的激光光束像散补偿方法、装置及存储介质，以解决激光光路系统的像差问题，提高激光光路系统输出的激光的质量。

一种基于柱面镜的激光光束像散补偿方法，包括：

获取激光的第一质量数据；

根据所述第一质量数据确定像散补偿装置的第一设置参数；

将所述像散补偿装置置入所述激光的光路，并根据所述第一设置参数设置所述像散补偿装置，以使所述激光穿过设置后的像散补偿装置；

获取穿过设置后的像散补偿装置的激光的第二质量数据；

根据所述第二质量数据调节所述像散补偿装置的第二设置参数，以使与经调节后的第二设置参数对应的第二质量数据满足预设要求。

一种基于柱面镜的激光光束像散补偿装置，所述像散补偿装置包括光学镜片组、机械结构件以及镜片调节组件；

所述光学镜片组包括至少两片柱面镜片；

所述机械结构件，用于安装所述光学镜片组；

所述镜片调节组件，用于根据第一设置参数设置所述光学镜片组的一维扩束方向；根据第二设置参数设置所述光学镜片组的扩束倍率和/或旋转角度；

其中，根据获取的激光的第一质量数据确定所述第一设置参数；

根据获取的穿过设置后的像散补偿装置的激光的第二质量数据确定所述第二设置参数，以使与经调节后的第二设置参数对应的第二质量数据满足预设要求。

一个或多个存储有计算机可读指令的可读存储介质，所述计算机可读指令被一个或多个处理器执行时，使得所述一个或多个处理器执行上述基于柱面镜的激光光束像散补偿方法。